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하전입자빔을 방출하는 첨두를 갖는 필라멘트가 고정된 필라멘트 조립체와, 상기 필라멘트 조립체를 내부에 수용하는 모듈 케이스와, 상기 모듈 케이스에서 상기 필라멘트 조립체의 위치를 고정하는 고정 나사와, 상기 모듈 케이스의 상측에 나사 결합되는 웨넬트를 포함하는 하전입자소스모듈의 정렬 장치에 있어서,베이스;상기 베이스로부터 이격되고, 상기 모듈 케이스를 지지하는 지지플레이트;상기 베이스에 설치되며, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 필라멘트 조립체의 상대적인 수평 위치를 조절 하는 위치조절모듈;상기 지지플레이트에 설치되고, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 웨넬트의 상대적인 수직 높이를 조절하는 높이조절모듈; 및상기 첨두와 상기 웨넬트에 대한 영상정보를 수집하는 영상수집모듈을 포함하고,상기 영상수집모듈은, 상기 첨두와 상기 웨넬트의 수평위치에 대한 영상정보를 수집하기 위한 제1카메라; 및상기 첨두와 상기 웨넬트의 수직위치에 대한 영상정보를 수집하기 위한 제2카메라를 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제1항에 있어서,상기 위치조절모듈은,상기 필라멘트 조립체를, 상기 베이스와 평행하고 서로 교차하는 2가지 방향으로 각각 병진 운동시키는 X-스테이지 및 Y-스테이지를 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제2항에 있어서,상기 위치조절모듈은,상기 베이스에 대해 상기 필라멘트 조립체를 회전시킴으로써,상기 첨두의 빔축과 상기 베이스의 수직여부를 확인 하기 위한 R-스테이지를 더 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제1항에 있어서,상기 높이조절모듈은,상기 웨넬트와 결합된 상태로 상기 지지플레이트에 대해 회전 가능한 H-스테이지; 및상기 H-스테이지를 회전시키기 위한 H-액츄에이터를 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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하전입자빔을 방출하는 첨두를 갖는 필라멘트가 고정된 필라멘트 조립체와, 상기 필라멘트 조립체를 내부에 수용하는 모듈 케이스와, 상기 모듈 케이스에서 상기 필라멘트 조립체의 위치를 고정하는 고정 나사와, 상기 모듈 케이스의 상측에 나사 결합되는 웨넬트를 포함하는 하전입자소스모듈의 정렬 장치에 있어서,베이스;상기 베이스로부터 이격되고, 상기 모듈 케이스를 지지하는 지지플레이트;상기 베이스에 설치되며, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 필라멘트 조립체의 상대적인 수평 위치를 조절 하는 위치조절모듈;상기 지지플레이트에 설치되고, 상기 모듈 케이스에 대한 상기 웨넬트의 상대적인 수직 높이를 조절하는 높이조절모듈; 및상기 첨두와 상기 웨넬트의 위치에 대한 영상정보를 수집하기 위한 적어도 하나 이상의 카메라를 포함하는 영상수집모듈; 및상기 카메라가 상기 첨두와 상기 웨넬트의 다양한 위치관계에 대한 정보를 수집하도록, 상기 카메라의 이동을 안내하는 가이드레일을 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제1항에 있어서,수집된 상기 영상정보를 사용자에게 출력하는 디스플레이를 더 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제8항에 있어서,상기 디스플레이는,상기 영상정보를 기반으로, 상기 첨두 또는 상기 웨넬트가 이동하여야 할 가상의 목표선을 표시 가능한, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제8항에 있어서,상기 위치조절모듈 또는 상기 높이조절모듈은, 상기 사용자가 입력한 제어 명령에 기초하여 상기 첨두와 상기 웨넬트의 상대적인 위치를 조절하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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제1항에 있어서,상기 위치조절모듈 또는 상기 높이조절모듈을 작동시키는 액츄에이터; 및상기 영상정보를 기반으로, 상기 액츄에이터를 제어하는 제어 신호를 생성하는 제어부를 더 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 장치
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하전입자빔을 방출하는 첨두를 갖는 필라멘트가 고정된 필라멘트 조립체와, 상기 필라멘트 조립체를 내부에 수용하는 모듈 케이스와, 상기 모듈 케이스에서 상기 필라멘트 조립체의 위치를 고정하는 고정 나사와, 상기 모듈 케이스의 상측에 나사 결합되는 웨넬트를 포함하는 하전입자소스모듈의 정렬 방법에 있어서,상기 첨두와 상기 웨넬트의 상대적인 위치에 대한 영상정보를 수집하는 영상수집단계; 및사용자의 명령 또는 수집된 상기 영상정보에 기초하여, 상기 첨두와 상기 웨넬트의 상대적인 위치를 정렬하는 정렬단계를 포함하고,상기 정렬단계는,상기 필라멘트 조립체를 회전시킴으로써, 상기 첨두의 가상의 빔축이 지면에 수직하는지 여부를 확인하는 단계;상기 첨두와 상기 웨넬트의 상대적인 수평위치를 정렬하는 수평정렬단계; 및상기 첨두와 상기 웨넬트의 상대적인 수직높이를 정렬하는 수직정렬단계를 포함하는, 하전입자소스모듈 정렬 방법
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