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노드에 연결되어 있는 복수의 미세채널을 포함하는 미세채널 네트워크에 각각 흐르는 유체의 목표유량을 목표출력으로 하며,상기 복수의 미세채널 각각의 유량을 출력값으로 하며,상기 복수의 미세채널 중 상기 노드로부터 소정거리 이격된 압력인가지점 각각에 개별적으로 압력을 인가하는 복수의 압력소스를 동시에 제어하며,복수의 미세채널을 압력에 대한 유체저항을 고려한 저항네트워크로 모델을 도출하며, 상기 모델의 압력에 대한 유량의 정상상태 이득행렬을 구하며, 상기 정상상태 이득행렬의 우역행렬(RIGHT INVERSE MATRIX)을 제어이득으로 하여 상기 압력소스를 제어하는 미세채널 유동 제어기
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제1 항에 있어서,상기 정상상태 이득행렬은 상기 미세채널 네트워크 내의 유동을 포이쉴리 유동(Poiseuille flow)로 가정하여 획득하는 것을 특징으로 하는 미세채널 유동 제어기
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제2 항에 있어서,상기 정상상태 이득행렬은 상기 노드로부터 상기 압력인가지점 사이의 복수의 유체저항의 총 합성저항, 상기 미세채널에 유동하는 유량 및 상기 노드로부터 상기 압력인가지점까지의 압력강하로부터 획득되는 것을 특징으로 하는 미세채널 유동 제어기
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제3 항에 있어서,상기 압력소스는 상기 미세채널 네트워크의 유입구와 유출구에 각각 연결되어 개별적으로 상기 압력을 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 미세채널 유동 제어기
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제4 항에 있어서,상기 미세채널 네트워크는 Y-형상으로 구성되어 3개의 상기 미세채널을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세채널 유동 제어기
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제2 항에 있어서,상기 제어기는 다중입출력 외란관측기를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세채널 유동 제어기
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노드에 연결되어 있는 복수의 미세채널을 포함하는 미세채널 네트워크;상기 미세채널 네트워크 중 상기 노드로부터 소정거리 이격된 압력인가지점각각에 개별적으로 압력을 조절할 수 있도록 구성되는 압력소스;하나 이상의 상기 미세채널의 유량을 측정할 수 있도록 구성된 유량센서; 및상기 유량센서로부터 신호를 수신하며, 복수의 미세채널을 압력에 대한 유체저항을 고려한 저항네트워크로 모델을 도출하며, 상기 모델의 압력에 대한 유량의 정상상태 이득행렬을 구하며, 상기 정상상태 이득행렬의 우역행렬(RIGHT INVERSE MATRIX)을 제어이득으로 하여 상기 압력소스를 제어하는 미세채널 유동 제어기를 포함하는 미세채널 제어 시스템
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제7 항에 있어서,상기 정상상태 이득행렬은 상기 미세채널 네트워크 내의 유동을 포이쉴리 유동(Poiseuille flow)로 가정하여 획득하는 것을 특징으로 하는 미세채널 제어 시스템
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제8 항에 있어서,상기 정상상태 이득행렬은 상기 노드로부터 상기 압력인가지점 사이의 복수의 유체저항의 총 합성저항, 상기 미세채널에 유동하는 유량 및 상기 노드로부터 상기 압력인가지점까지의 압력강하로부터 획득되는 것을 특징으로 하는 미세채널 제어 시스템
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