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연속적으로 대면적에 입자를 배치하는 방법(METHOD FOR CONTINUOUSLY ARRANGING PARTICLE ON LARGE AREA)

  • 기술번호 : KST2018002427
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 유연기재를 준비하는 단계; (b) 유연기재의 일면의 일부 또는 전부에 다수의 입자를 위치시키는 단계; (c) 탄성부재 1을 유연기재의 일면으로부터 상기 입자 사이즈(D)의 1배의 거리(1D) 내지 10배의 거리(10D)로 이격시키고 입자 상에 위치시키는 단계; 및 (d) 유연기재를 일 방향으로 1회 또는 복수회 소정 거리(L)를 왕복시켜 탄성부재 1이 입자를 유연기재의 일 부분(A)에 배치시켜 입자 단일층을 형성하는 단계;를 포함하는 입자의 배치방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입자의 배치방법은 컨베이어 벨트 상에 위치하는 유연기재와 유연기재로부터 이격된 탄성부재를 이용함으로써, 마이크로 사이즈의 입자를 연속적으로 대면적 배치가 가능하며, 보이드가 거의 없는 단결정의 입자 단일층을 형성할 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2016.09.23) H01L 51/00 (2016.09.23) H01L 21/027 (2016.09.23) H01L 21/764 (2016.09.23) H01L 21/762 (2016.09.23)
CPC H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01) H01L 21/02601(2013.01)
출원번호/일자 1020160106893 (2016.08.23)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0022065 (2018.03.06) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정운룡 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 고건석 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이수열 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **(서초동) *층(국제특허다호)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2016-0818579-76
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.06.15 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2017-0573173-53
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0586095-94
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2017.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0082399-74
5 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0589148-30
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0084383-91
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0017572-20
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0093323-61
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.04.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0342409-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.04.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0342417-82
12 등록결정서
Decision to grant
2018.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0486894-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
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(a) 유연기재를 준비하는 단계; (a') 상기 유연기재의 타면을 이동부재에 마주하여 상기 이동부재 상에 위치시키는 단계;(b) 상기 유연기재의 일면의 일부 또는 전부에 다수의 입자를 위치시키는 단계; (c) 탄성부재 1을 상기 유연기재의 일면으로부터 상기 입자 사이즈(D)의 1배의 거리(1D) 내지 2배의 거리(2D)로 이격시키고 상기 입자 상에 위치시키는 단계; (d) 상기 유연기재를 일 방향으로 1회 또는 복수회 소정 거리(L)를 왕복시켜 상기 탄성부재 1이 상기 입자를 상기 유연기재의 일 부분(A)에 배치시켜 입자 단일층을 형성하는 단계;(e) 상기 이동부재를 이용하여 상기 유연기재의 일부분(A)을 이동시키는 단계; 및(f) 상기 유연기재를 일 방향으로 1회 또는 복수회 소정 거리(L')를 왕복시켜 상기 입자를 상기 유연기재의 타 부분(A')에 배치시켜 입자 단일층을 형성하는 단계; 를 포함하고,상기 단계 (d)의 왕복이 상기 이동부재의 왕복에 의해 수행되고,상기 단계 (d)와 (e)가 복수회 각각 반복되고,상기 이동부재가 컨베이어의 벨트이고, 상기 벨트가 이동하면서 ⊂ 또는 ⊃ 형상으로 변형될 때, 상기 벨트 상의 상기 유연기재가 상응하여 ⊂ 또는 ⊃ 형상으로 변형되어 연속적으로 대면적에 입자가 배치되는 것이고,상기 유연기재와 상기 입자 사이의 점착에너지가 상기 입자와 입자 사이의 점착 에너지보다 더 큰 것이고,탄성부재 2를 상기 유연기재의 일 부분(A)의 입자 단일층에 배치되지 않은 입자에 접하게 하여 부착시킨 후 상기 유연기재와 이격시켜 상기 입자 단일층에 배치되지 않은 입자를 상기 유연기재로부터 분리하거나, 또는 공기를 상기 유연기재의 일 부분(A)의 입자 단일층에 배치되지 않은 입자에 불어 상기 입자 단일층에 배치되지 않은 입자를 상기 유연기재로부터 분리하는 것인, 입자의 배치방법
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제1항에 있어서, 상기 유연기재가 PDMS(polydimethylsiloxane), PUA(polyurethane acrylate), PMMA(polymethyl methacrylate), PB(polybutadiene), PU(polyurethane), SBR(styrene-butadiene rubber), PVDF(polyvinylidene fluoride), PVDF-TrFE(poly(vinylidenefluoride-co-trifluoroethylene)), PS(polystyrene), SBS PEDGA(poly(ethylene glycol) diacrylate), SBS(ploy(styrene-butadiene-styrene)), SEBS(poly(styrene-ethylene-butylene-styrene)) 및 SIS(poly(styrene-isoprene-styrene)) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자의 배치방법
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제1항에 있어서, 상기 유연기재의 점착 에너지(tack energy)가 3 내지 15 gf mm인 것을 특징으로 하는 입자의 배치방법
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제8항에 있어서, 상기 유연기재의 모듈러스가 0
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제1항에 있어서, 상기 입자가 PS(polystyrene), 실리카 및 PMMA(polymethyl methacrylate) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자의 배치방법
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제11항에 있어서, 상기 입자의 크기가 500 nm 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 입자의 배치방법
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제1항에 있어서, 상기 이동부재가 PDMS(polydimethylsiloxane), PUA(polyurethane acrylate), PMMA(polymethyl methacrylate), PB(polybutadiene), PU(polyurethane), SBR(styrene-butadiene rubber), PVDF(polyvinylidene fluoride), PVDF-TrFE(poly(vinylidenefluoride-co-trifluoroethylene)), PS(polystyrene), SBS PEDGA(poly(ethylene glycol) diacrylate), SBS(ploy(styrene-butadiene-styrene)), SEBS(poly(styrene-ethylene-butylene-styrene)) 및 SIS(poly(styrene-isoprene-styrene)) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자의 배치방법
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(a) 음각 또는 양각으로 공극(孔隙)이 일면에 형성된 유연기재를 준비하는 단계; (a') 상기 유연기재의 타면을 이동부재에 마주하여 상기 이동부재 상에 위치시키는 단계;(b) 상기 유연기재의 일면의 일부 또는 전부에 다수의 입자를 위치시키는 단계; (c) 탄성부재 1을 상기 유연기재의 일면으로부터 상기 입자 사이즈(D)의 1
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제14항에 있어서, 상기 공극의 높이가 상기 입자 사이즈(D)의 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.