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단결정 금속포일, 및 이의 제조방법(Single crystal metal foil, and method of manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2018002456
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요약 본 발명은 기저와 이격되게 위치하는 다결정 금속포일을 열처리하여 단결정 금속포일을 제조하는 단계를 포함하는 단결정 금속포일의 제조방법과 이로부터 제조된 단결정 금속포일에 관한 것으로, 다결정 금속포일에 가해지는 응력을 최소화한 조건에서 열처리하여 대면적의 단결정 금속포일을 제공할 수 있다.
Int. CL C30B 1/02 (2006.01.01) C30B 25/14 (2006.01.01) C22F 1/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180014745 (2018.02.06)
출원인 기초과학연구원, 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1997545-0000 (2019.07.02)
공개번호/일자 10-2018-0022728 (2018.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20190709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160087904   |   2016.07.12
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2017-0087731 (2017.07.11)
관련 출원번호 1020170087731
심사청구여부/일자 Y (2018.02.06)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 기초과학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 로드니 루오프 대한민국 ***** 울산광역시 울주군
2 진성환 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 기초과학연구원 대전광역시 유성구
2 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0132293-92
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0025385-00
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0181554-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0413858-93
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0823372-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0935656-29
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0935684-08
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0068918-75
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0322871-63
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0439468-86
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0439525-91
12 등록결정서
Decision to grant
2019.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0455099-53
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
챔버; 상기 챔버의 일측에 구비되어 열을 가하는 가열부; 상기 챔버로 기체를 주입하는 기체유입구; 상기 챔버에서 기체를 배출하는 기체배출구; 상기 챔버에 연결된 압력조절부; 상기 챔버 내부에 구비되며 고정부재를 포함하되, 상기 고정부재에 20㎛ 초과 내지 200㎛의 두께를 갖는 다결정 금속포일의 일부분이 고정되며 다결정 금속포일이 부유되도록 고정하는 금속포일 거치대; 및 20㎛ 초과 내지 200㎛의 두께를 가지며 상기 금속포일 거치대의 고정 부재에 일부분이 고정됨으로써 부유하여 위치하는 다결정 금속포일;을 포함하며, 상기 금속포일 거치대의 고정 부재는 로드(rod), 집게 또는 후크고리를 포함하는 것인 단결정 금속포일 제조장치
4 4
삭제
5 5
제 3항에 있어서,상기 가열부는 가열로 (furnace), 저항가열 (resistive heating), 램프가열 (ramp heating) 또는 유도가열 (induction heating)을 통해 열을 가하는 것인 단결정 금속포일 제조장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN109477237 CN 중국 FAMILY
2 EP03483309 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 KR101878465 KR 대한민국 FAMILY
4 US20190242028 US 미국 FAMILY
5 WO2018012864 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 AU2017297850 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
2 AU2017297850 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
3 CA3029783 CA 캐나다 DOCDBFAMILY
4 CN109477237 CN 중국 DOCDBFAMILY
5 EP3483309 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 EP3483309 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
7 KR101878465 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
8 KR20180007334 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
9 US2019242028 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기초과학연구원 기초과학 연구단 새로운 탄소동소체의 디자인, 합성 및 특성분석