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적어도 두 개의 분석 대상 신호를 수신하는 신호 수신부;분석 대상 신호 각각을 이산 웨이블릿 변환(discrete wavelet transform)하는 특질 추출부; 및변환된 분석 대상 신호를 이용하여 대응 경로를 계산하는 대응 경로 계산부를 포함하고,상기 대응 경로 계산부는 상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 평균과 분산을 이용하여 상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 구간을 분할한 후 대응 경로를 계산하는,대응 경로 계산 장치
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제1항에 있어서,상기 분석 대상 신호는 시간 또는 속도에 따라 측정 값을 갖는 반도체 공정 신호인,대응 경로 계산 장치
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제1항에 있어서,상기 특질 추출부는 MODWT(Maximal Overlap Discrete Wavelet Transform) 알고리즘을 이용하여 이산 웨이블릿 변환을 수행하는,대응 경로 계산 장치
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제1항에 있어서,상기 대응 경로 계산부는 분산(δ)을 평균(μ)에 더한 값(μ+δ), 분산(δ)을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-δ), 분산(δ)에 2를 곱한 값을 평균(μ)에 더한 값(μ+2δ), 분산(δ)에 2를 곱한 값을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-2δ), 분산(δ)에 3을 곱한 값을 평균(μ)에 더한 값(μ+3δ), 및 분산(δ)에 3을 곱한 값을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-3δ)을 기준으로 상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 구간을 분할하는,대응 경로 계산 장치
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대응 경로 계산 장치에서 수행되는 대응 경로 계산 방법에 있어서,적어도 두 개의 분석 대상 신호를 수신하는 단계;분석 대상 신호 각각을 이산 웨이블릿 변환(discrete wavelet transform)하는 단계; 및변환된 분석 대상 신호를 이용하여 대응 경로를 계산하는 단계를 포함하고,상기 대응 경로를 계산하는 단계는, 상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 평균과 분산을 이용하여 상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 구간을 분할한 후 대응 경로를 계산하는,대응 경로 계산 방법
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제6항에 있어서,상기 분석 대상 신호는 시간 또는 속도에 따라 측정 값을 갖는 반도체 공정 신호인,대응 경로 계산 방법
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삭제
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제6항에 있어서,상기 이산 웨이블릿 변환하는 단계는, MODWT 알고리즘을 이용하여 이산 웨이블릿 변환을 수행하는,대응 경로 계산 방법
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10
제6항에 있어서,상기 변환된 분석 대상 신호 각각의 구간은 분산(δ)을 평균(μ)에 더한 값(μ+δ), 분산(δ)을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-δ), 분산(δ)에 2를 곱한 값을 평균(μ)에 더한 값(μ+2δ), 분산(δ)에 2를 곱한 값을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-2δ), 분산(δ)에 3을 곱한 값을 평균(μ)에 더한 값(μ+3δ), 및 분산(δ)에 3을 곱한 값을 평균(μ)으로부터 뺀 값(μ-3δ)을 기준으로 분할되는,대응 경로 계산 방법
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