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사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울 및 그 제조방법(Mirror of Correlative Light and Electron Microscope with Quadrangular Pyramid Shaped Hole)

  • 기술번호 : KST2018002876
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘의 결정특성을 이용하여 형성한 사각뿔 형상의 관통공으로 전자빔이 통과하게 하고 광학빔은 반사하도록 한 광-전자 융합현미경용 광반사 거울에 관한 것으로, 결정구조의 이방성 식각을 이용하므로, 실리콘의 (111) 면과 (100) 면의 각도인 54.7°로 식각이 되어 관통공이 한쪽에서 다른 쪽으로 갈수록 점점 좁아져서(Tapering), 광반사 거울을 경사지게 배열하였을 때 좁은 관통공 부위를 광의 입사방향으로 배치하여 광손실을 최소화할 수 있고, 실리콘 습식공정을 이용하여 경제적인 광반사 거울의 다량 획득이 가능한 효과가 있다.
Int. CL G02B 21/00 (2016.10.08)
CPC G02B 21/0048(2013.01) G02B 21/0048(2013.01)
출원번호/일자 1020160112458 (2016.09.01)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0026006 (2018.03.12) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.01)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인용 대한민국 대전광역시 유성구
2 조복래 대한민국 대전광역시 유성구
3 배문섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 문환구 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***, *층(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0853379-17
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0857641-68
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0022826-44
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0759639-81
6 등록결정서
Decision to grant		 2018.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0294695-33
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
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번호 청구항
1 1
사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울로,상기 광반사 거울은 두께 0
2 2
제 1항에 있어서,상기 사각뿔 형상의 관통공 밑면의 단면적은 450 내지 600μm2인,사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울
3 3
제 1항에 있어서,상기 관통공은 상기 플레이트의 무게중심 위치에 형성되는, 사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울
4 4
제 1항에 있어서, 상기 플레이트에서, 사각뿔 형상의 밑면의 변과 평행한 절단면을 제외한 절단면은 곡면인,사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울
5 5
사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울로,상기 광반사 거울은 플레이트;상기 플레이트의 양면에 코팅된 제1 금속 박막; 및상기 제1 금속 박막 위에 코팅된 제2 금속 박막을 포함하고,상기 관통공은 상기 플레이트의 양면을 관통하며 상기 양면에 접하는 사각형의 크기가 서로 다르게 형성되는,사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울
6 6
사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울의 제조 방법으로,상기 방법은 두께 0
7 7
제 6항에 있어서,상기 사각뿔 형상의 관통공 밑면의 단면적은 450 내지 600μm2인,사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울의 제조방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 관통공은 상기 플레이트의 무게중심 위치에 형성되는, 사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울의 제조방법
9 9
제 6항에 있어서, 상기 플레이트에서, 상기 사각뿔 형상의 밑면의 변과 평행한 절단면을 제외한 절단면은 곡면인,사각뿔 형상의 관통공을 구비한 광-전자 융합현미경 광반사 거울의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가과학기술연구회운영비지원 멀티스케일 3차원 이미징을 위한 융합현미경 개발