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증착원료인 타겟물질을 방출하는 타겟건, 상기 타겟건 전방에 배치되어 증착대상물인 기판을 이송시키는 기판홀더를 포함하여 이루어져 상기 기판 상에 다층 박막을 형성하는 인라인 타입 박막 증착 장치를 이용하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법에 있어서,상기 타겟건 전방에는 수정진동자를 포함하여 이루어지는 두께측정부가 구비되며,최초 제1층 박막 형성 시 상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막 두께 값 및 상기 기판 상에 형성된 박막 두께 값 간의 비율을 이용하여 이송보정팩터를 산출하는 초기설정단계;각 층 박막 형성 시 상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막 두께 값 및 미리 결정된 목표 박막 두께 값 간의 비율을 이용하여 환경보정팩터를 산출하고, 상기 환경보정팩터 값에 따라 상기 기판 이송속도를 피드백 제어함으로써 상기 기판 상에 형성되는 박막 두께를 제어하는 두께제어단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 초기설정단계는,상기 타겟건이 타겟물질을 방출하고 상기 기판홀더가 미리 결정된 이송속도로 상기 기판을 이송시켜, 상기 기판 상에 타겟물질로 이루어지는 박막 제1층이 형성되고, 상기 수정진동자 상에 타겟물질로 이루어지는 측정용 박막 제1층이 형성되는 단계;상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막 제1층의 두께 및 상기 기판 상에 형성된 박막 제1층의 두께가 각각 측정되는 단계;박막 제1층 두께 값을 측정용 박막 제1층 두께 값으로 나눈 값이 이송보정팩터 값으로 결정되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 두께제어단계는,제n층 박막 형성 시,상기 타겟건이 타겟물질을 방출하고 상기 기판홀더가 미리 결정된 제n층 이송속도로 상기 기판을 이송시켜, 상기 기판 상에 타겟물질로 이루어지는 박막 제n층이 형성되고, 상기 수정진동자 상에 타겟물질로 이루어지는 측정용 박막 제n층이 형성되는 단계;상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막 제n층의 두께가 측정되는 단계;측정용 박막 제n층의 두께 값을 미리 결정된 목표 박막 두께 값으로 나눈 값이 제n층 환경보정팩터 값으로 결정되는 단계;를 포함하여 이루어지며,제n+1층 박막 형성 시,제n층 환경보정팩터 값을 제n층 이송속도에 곱한 값으로 제n+1층 이송속도가 결정되는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 2항에 있어서, 상기 기판 상에 형성된 박막 제1층의 두께 측정은,X선 반사율 장치 또는 엘립소미터에 의하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막의 두께 측정은,상기 타겟건과 상기 기판 사이의 거리 값을 상기 타겟건과 상기 수정진동자 사이의 거리 값으로 나눈 값으로 결정되는 툴링팩터 값에 의해 보정되는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법은,상기 인라인 타입 박막 증착 장치에는 상기 타겟건이 복수 개 구비되고, 상기 타겟건 하나당 상기 두께측정부가 하나씩 구비되도록 이루어지며,다층 박막 형성을 위해 상기 두께제어단계가 다수 번 반복 수행되되,각각의 상기 두께제어단계 시 사용되는 상기 타겟건은 매번 동일하거나 또는 다르게 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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제 1항에 있어서, 상기 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법은,각 층 박막 형성 시 상기 수정진동자 상에 형성된 측정용 박막 두께 값 및 상기 이송보정팩터 값을 사용하여 상기 기판 상에 형성된 박막 두께 값을 산출하는 두께산출단계;를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 방법
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증착원료인 타겟물질을 방출하는 타겟건, 상기 타겟건 전방에 배치되어 증착대상물인 기판을 이송시키는 기판홀더를 포함하여 이루어져 상기 기판 상에 다층 박막을 형성하는 인라인 타입 박막 증착 장치에 구비되는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 장치에 있어서,상기 타겟건 전방에 배치되며 수정진동자를 포함하여 이루어지는 두께측정부;상기 두께측정부에서 측정된 값을 사용하여 상기 기판 이송속도를 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 장치
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제 8항에 있어서,상기 인라인 타입 박막 증착 장치에는 상기 타겟건이 복수 개 구비되고,상기 타겟건 하나당 상기 두께측정부가 하나씩 구비되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 인라인 타입 박막 증착 공정 시 박막 두께 제어 장치
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