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피에조 액츄에이터(piezo actuator) 및 상기 피에조 액츄에이터의 진동 변위를 증폭시켜주는 레버를 포함하는 진동부; 피측정 압전 소자의 일 단부를 고정하는 제 1 클램핑부 및 상기 피측정 압전 소자의 진동으로부터 생성되는 출력 전압 및 출력 전류 중 적어도 하나를 외부 계측기로 전달하는 적어도 하나 이상의 측정 핀을 포함하는 지그부; 및 상기 지그부와 상기 진동부의 상기 레버를 연결하고, 상기 피에조 액츄에이터의 상기 진동 변위를 상기 지그부에 전달하여 상기 지그부를 진동시키도록 기준면으로부터 수직하는 지지대를 포함하며,상기 피측정 압전 소자의 일 단부는 상기 지그부에 고정되고 상기 피측정 압전 소자의 타 단부는 자유단을 구성하고, 상기 지지대의 상하 운동에 의해 상기 피측정 압전 소자가 캔틸레버 진동을 함으로써, 상기 피측정 압전 소자의 상기 캔틸레버 진동이 성능 평가를 위한 전압 또는 전류 중 적어도 하나로 변환되는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 하베스팅 소자의 성능 평가 장치는 상기 진동부를 수용하는 제 1 구조물을 더 포함하고, 상기 지지대는 상기 제 1 구조물의 결합공을 통해 연장되어 상기 지그부와 상기 진동부의 상기 레버를 연결시키고, 상기 결합공은 상기 지지대의 변위를 가이드하는 에너지 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 구조물의 결합공은 상기 지지대와의 마찰을 최소화하는 윤활 부재를 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 클램핑부는상기 피측정 압전 소자를 상기 적어도 하나 이상의 측정 핀에 밀착시키는 제 1 서브 구조물; 및상기 제 1 서브 구조물에 압력을 가하는 적어도 하나의 제 1 고정 핀을 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지그부는,상기 적어도 하나 이상의 측정 핀을 수용하는 제 2 서브 구조물을 더 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지그부는 상기 지지대의 일 단부를 고정하는 제 2 클램핑부를 더 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 6 항에 있어서,상기 지지대의 일 단부를 조이는 제 3 서브 구조물; 및상기 제 3 서브 구조물에 압력을 가하는 적어도 하나의 제 2 고정 핀을 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지지대의 적어도 일부를 감싸는 스프링을 더 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 피측정 압전 소자의 상기 고정된 일 단부와 반대되는 자유의 타 단부에 결합되는 하중 부재를 더 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 9 항에 있어서,상기 하중 부재는적어도 하나의 제 3 고정 핀; 및상기 적어도 하나의 제 3 고정 핀의 일 단부와 체결(locking) 가능한 제 1 중공 및 상기 피측정 압전 소자의 타 단부가 수용되는 제 2 중공을 갖는 제 2 구조물을 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 1 항에 있어서,상기 피측정 압전 소자는,상기 적어도 하나 이상의 측정 핀 중 제 1 측정 핀에 접촉되는 제 1 전극;상기 제 1 전극 상에 배치되는 압전층; 및 상기 압전층 상에 배치되며, 상기 적어도 하나 이상의 측정 핀 중 제 2 측정 핀에 접촉되는 제 2 전극을 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 11 항에 있어서,상기 압전층(P1)은 세라믹 재료, 고분자 재료 및 이들의 조합 중 어느 하나를 포함하는 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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제 12 항에 있어서,상기 세라믹 재료는, α-AlPO4(Berlnite), α-SiO2(Quartz), LiTiO3, LiNbO3, SrxBayNb2O8, Pb5-Ge3O11, Tb2(MoO4)3, Li2B4O7, Li2B4O7, CdS, ZnO, AlN, Bi12SiO20, Bi12GeO20, PZT(lead zirconate titanate)계, PT(lead titanate)계, PZT-Complex Perovskite계, BaTiO3 중 어느 하나이고, 상기 고분자 재료는 PVDF(polyvinylidene fluoride), PVDF-TrFe (polyvinyledenedifluoride-tetrafluoroethylene), P(VDFTeFE), TGS(triglycine sulfate) 중 어느 하나인 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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전원 공급기;상기 전원 공급기의 구동 전원에 따라 고정된 피측정 압전 소자에 진동 변위를 가하는 청구항 1에 기재된 하베스팅 소자의 성능 평가 장치; 및상기 하베스팅 소자의 성능 평가 장치로부터 상기 진동 변위에 대응하는 상기 피측정 압전 소자의 출력 전압 값 및 출력 전류 값 중 적어도 하나를 표시하는 계측기를 포함하는 측정 시스템
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제 14 항에 있어서,상기 하베스팅 소자의 성능 평가 장치는,상기 진동 변위를 생성하는 피에조 액츄에이터(piezo actuator) 및 상기 피에조 액츄에이터의 진동 변위를 증폭시켜주는 레버를 포함하는 진동부; 피측정 압전 소자의 일 단부를 고정하는 제 1 클램핑부 및 상기 피측정 압전 소자의 진동으로부터 생성되는 출력 전압 및 출력 전류 중 적어도 하나를 외부 계측기로 전달하는 적어도 하나 이상의 측정 핀을 포함하는 지그부; 및 상기 지그부와 상기 진동부의 상기 레버를 연결하고, 상기 피에조 액츄에이터의 상기 진동 변위를 상기 지그부에 선형적으로 전달하여 상기 지그부를 진동시키기 위한 지지대를 포함하는 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 지지대의 연장 방향은 상기 피에조 액츄에이터의 진동 변위가 일어나는 중심축으로부터 오프셋된 하베스팅 소자의 성능 평가 장치
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