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테트라키스(트리메틸실릴옥시)실란(tetrakis(trimethylsilyloxy)silane; TTMSS)을 포함하는 전구체로부터 제조된, 100°이상의 물 접촉각을 갖는 초소수성 박막
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제1항에 있어서, 상기 TTMSS는 플라즈마 중합화된 것인 초소수성 박막
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제1항의 초소수성 박막을 포함하는 전기변색 스마트 유리의 표면 보호용 박막
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제3항에 있어서, 상기 박막은 10W 출력의 가시광 레이저에 200회 노출되어도 100°이상의 물 접촉각을 나타내는 것인 박막
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제3항에 있어서, 가시광에 대해 평균 80% 이상의 투과율을 나타내는 것인 박막
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제3항에 있어서, 자가 세정능을 갖는 것인 박막
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유리 기재를 플라즈마 보강 화학 기상 증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD) 장비 내에 위치시키고, 압력을 20 내지 30 mTorr로 유지하는 제1단계;전구체 물질로서 테트라키스(트리메틸실릴옥시)실란(tetrakis(trimethylsilyloxy)silane; TTMSS)을 운반 기체와 함께 상기 장비로 주입하여 유리 기재 상에 분사하는 제2단계; 및압력을 500 내지 700 mTorr로 유지시킨 후 15 내지 100W 출력의 플라즈마를 인가하여 플라즈마 중합시켜 유리 기판 상에 TTMSS 박막을 형성하는 제3단계를 포함하는,자가 세정능을 갖는 전기변색 스마트 유리의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 제1단계는,거품기 내에서 상기 전구체 물질로서 TTMSS를 증발시키는 제a단계;상기 증발된 TTMSS를 상기 거품기로부터 배출하여 플라즈마 증착용 반응기로 유입시키는 제b단계; 및상기 반응기의 플라즈마를 이용하여 상기 반응기 내의 기판 위에 플라즈마 중합된 박막을 형성하는 제c단계를 포함하는 것인 제조방법
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제3항에 따른 표면 보호용 박막을 구비한 전기변색 스마트 유리
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제9항에 있어서, 승용차, 대형버스, 기차 및 항공기를 포함하는 운송수단용 또는 건축외장용인 것인 전기변색 스마트 유리
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