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투광 영역에 액체 렌즈가 형성된 광 마스크를 이용하고 감광층을 포함하는 기재를 노광 및 현상하여, 노광시 렌즈에 의한 광의 집속 경로에 따른 마이크로 니들 형상 또는 마이크로 니들의 역상의 패턴을 갖는 몰드를 제조하는 몰드 제조 단계;를 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 1항에 있어서, 노광 전, 상기 액체 렌즈의 액체의 굴절률, 액체의 표면 장력, 액체 렌즈가 위치하는 투광 영역의 표면 특성 및 액체 렌즈에 인가되는 전압에서 하나 이상 선택되는 인자(factor)를 제어하여, 상기 액체 렌즈의 곡률을 조절하는 곡률 조절 단계를 더 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 액체 렌즈의 액체는 물, 오일(oil), 방향족 탄화수소계 용매, 할로겐화 용매, 및 액상 수지에서 하나 또는 둘 이상 선택되는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 감광층은 감광성 유리 또는 포토레지스트인 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 감광층은 네가티브 포토레지스트이며, 상기 제조방법은 상기 몰드 제조단계에서 제조되는 몰드를 원판으로 하여, 상기 원판에 금속을 도금하여 원판-금속 복합체를 제조하는 원판-금속 복합체 제조단계; 및상기 원판-금속 복합체로부터 현상시 잔류하는 포토레지스트를 제거하여, 금속 몰드를 제조하는 금속 몰드 제조 단계;를 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 1항 내지 제 5항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 광 마스크의 투광 영역은 관통공이거나, 상기 광 마스크의 차광 영역의 두께보다 상기 투광 영역의 두께가 상대적으로 작은 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 관통공 또는 상기 차광 영역과 상기 투광 영역간의 두께 차에 의해 형성된 단차에 의해, 상기 액체 렌즈의 물리적 틀이 규정되는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 6항에 있어서,상기 광 마스크는 관통공이 형성된 차광 판; 또는 투명 판과 통공을 갖는 차광 막의 적층체;인 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 차광 판 또는 차광 막은 전도성인 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 투명 판은 상기 차광 막의 통공이 위치하는 투명 판 영역에 형성된 요부홈을 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 6항에 있어서,적어도, 상기 관통공의 통공면 또는 상기 투광 영역과 단차를 이루는 차광 영역의 측면을 포함하는 광 마스크의 표면에, 소수성 내지 소유성 코팅막이 형성된 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 6항에 있어서,적어도, 상기 관통공의 통공면 또는 상기 투광 영역과 단차를 이루는 차광 영역의 측면을 포함하는 광 마스크의 표면은 에칭에 의해 표면 거칠기 Ra가 10nm 내지 1μm로 제어된 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 7항에 있어서,몰드 제조 단계는, a1) 상기 광 마스크와 상기 기재를 적층하는 단계;a2) 상기 광 마스크에 형성된 액체 렌즈의 틀에 액상을 위치시켜 액체 렌즈를 형성하는 단계;a3) 액체 렌즈가 형성된 광 마스크에 광을 조사하는 노광단계; 및a4) 노광된 기재를 현상하는 단계;를 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 13항에 있어서,a2) 단계는, 액상의 분무(spray)에 의해 수행되는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 광 마스크의 차광 영역은, 적어도, 광의 출사측을 기준으로, 전도성 표면을 갖는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 15항에 있어서,상기 원판-금속 복합체 제조단계에서, 상기 차광 영역의 전도성 표면을 일 전극으로 하여, 전해 도금이 수행되는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 원판-금속 복합체 제조단계는,b1) 상기 원판에 전도성 코팅층을 형성하는 단계; 및b2) 상기 전도성 코팅층을 일 전극으로 하여, 전해 도금하는 단계;를 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 노광 전,전도성인 상기 차광 판 또는 차광 막을 제1전극으로 하고, 상기 기재를 사이에 두고 상기 광 마스크와 대향하도록 상기 기재의 일 면에 제2전극을 위치하도록 하여, 상기 광 마스크에 위치하는 액체 렌즈에 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 16항에 있어서,상기 광 마스크는 투명 판과 통공을 갖는 차광 막의 적층체이며, 상기 투명 판의 광의 출사측 표면에 니켈, 금 또는 백금을 포함하는 금속재질의 희생층이 형성된 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 곡률 제어 단계 후, 상기 액체 렌즈를 경화시키는 경화 단계를 더 포함하는 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 액체 렌즈의 액체는 경화성 수지인 마이크로 니들용 몰드의 제조방법
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