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마스터 패턴을 가지는 마스터 기판을 마련하는 단계;상기 마스터 패턴의 역상을 가지는 패턴이 형성된 복제패턴을 얻는 단계;상기 복제패턴 상에 게터 물질을 증착하여 나노/마이크로 구조물 패턴을 형성하는 단계; 및상기 복제패턴 상에 증착된 나노/마이크로 구조물 패턴을 메인 기판에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴을 얻는 단계는상기 마스터 기판에 복제 소재를 도포하여 상기 마스터 패턴의 역상을 가지는 패턴이 형성된 복제층을 형성하는 단계; 및상기 복제층에 접착 필름을 부착한 후 상기 마스터 기판에서 상기 접착 필름을 박리하여 상기 접착필름 및 상기 복제층으로 이루어진 복제패턴을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,게터 구조물의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 복제층에 접착 필름을 부착하는 방법은 롤링 공정 또는 라미네이터를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 라미네이터는 롤러 또는 프레스가 구비된 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 롤링 공정에서 롤링의 속도는 0
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 증착된 나노/마이크로 구조물 패턴을 메인 기판에 전사하는 단계는 롤링 공정 또는 라미네이터를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 라미네이터는 롤러 또는 프레스가 구비된 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제6항에 있어서,상기 롤링 공정에서 롤링의 속도는 0
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제1항에 있어서,상기 마스터 기판은 실리콘 기판, 하드(Hard) 또는 소프트(soft) 기판인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 마스터 패턴은 리소그래피 또는 분자 자기조립의 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 마스터 패턴은 라인, 홀, 닷, 메쉬, 또는 링 형태의 반복적이고 규칙적인 패턴인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 마스터 패턴의 크기는 나노 사이즈에서 수백 ㎛인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 복제 소재는 유기, 유무기 또는 무기 소재인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 복제 소재는 호모 폴리머, 혼합 폴리머, 블록 공중합 고분자, 전도성 고분자, 폴리이미드, PMMA, PS, 및 PVP로 이루어진 군으로부터 선택된 폴리머를 포함한 연성 소재인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 증착되는 게터 물질은 금속, 세라믹, 또는 반도체 물질인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 게터 물질은 Ti, Zr, Hf, Ni, Co, Mn, Al, Li, 또는 Mg 중 어느 하나 이상의 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 게터 물질을 증착하는 방법은 물리적 증착 또는 화학적 증착 방법인 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 증착된 나노/마이크로 구조물 패턴을 메인 기판에 전사하는 단계 이전에 상기 나노/마이크로 구조물 패턴이 형성된 복제패턴을 용매에 노출시키거나 열을 가하는 전처리 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 전처리는 가열된 용매에 상기 복제패턴을 노출시키는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 복제패턴 상에 증착된 나노/마이크로 구조물 패턴을 메인 기판에 전사하는 단계를 반복적으로 수행하여 다층 구조를 가지는 게터 구조물을 얻는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제20항에 있어서,상기 복제패턴 상에 증착된 나노/마이크로 구조물 패턴을 메인 기판에 전사하는 단계 이후에 메인 기판 상에 잔존하는 복제패턴을 용매 또는 물로 세척하거나 열처리, 플라즈마 에칭 후처리 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제20항에 있어서,상기 다층 구조를 가지는 게터 구조물은 크로스 바 형태 또는 서로 겹쳐진 형태의 구조물인 것을 특징으로 하는 게터 구조물의 제조방법
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제20항에 있어서,상기 다층 구조를 가지는 게터 구조물은 서로 다른 종류의 게터 물질로 형성된 나노/마이크로 구조물이 적층된 것을 특징으로 하는, 게터 구조물의 제조방법
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제1항 내지 제23항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는, 게터 구조물
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