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3차원 형상 측정용 미라우 타입 간섭렌즈 구조체(MIRAU TYPE INTERFEROMETER LENS FOR 3-DIMENSIONAL SHAPE MEASURING)

  • 기술번호 : KST2018003341
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3차원 형상 측정용 미라우 타입 간섭렌즈 구조체에 관한 것으로 간섭용 대물렌즈부재의 하부면과 이격되게 배치되어 간섭용 대물렌즈부재와 측정 대상물의 사이에 위치되는 기준미러부재를 열팽창 또는 열수축되어 상기 기준미러부재와 상기 간섭용 대물렌즈부재의 사이 간격을 조절하는 열변형 지지부재로 지지하여 간섭용 대물렌즈의 열팽창 또는 열수축 시 열변형 지지부재가 함께 열팽창 또는 열수축되어 렌즈 초점 거리의 변화에 따라 빔스플리터부재에서 기준미러부재까지의 광경로와 빔스플리터에서 빛의 초점까지의 광경로를 용이하게 일치시킬 수 있어 3차원 형상 측정 시간을 단축시키고 생산성을 향상시키며, 작업자에 따른 3차원 형상의 측정값에 차이가 발생되는 것을 방지하고, 3차원 형상의 측정값에 대한 신뢰성을 향상시킨다.
Int. CL G02B 27/00 (2006.01.01) G02B 27/14 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01)
CPC G02B 27/0068(2013.01) G02B 27/0068(2013.01) G02B 27/0068(2013.01)
출원번호/일자 1020160116296 (2016.09.09)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1843407-0000 (2018.03.23)
공개번호/일자 10-2018-0028680 (2018.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20180329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 보정승인간주
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호환 대한민국 세종특별자치시 마음안로 ,
2 이현 대한민국 충청남도 아산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최호석 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **(도곡동)(더호특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김호환 세종특별자치시 마음안로 **,
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0882338-14
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0456485-73
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0737615-34
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0737614-99
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0912369-59
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0207283-72
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0207284-17
8 등록결정서
Decision to grant
2018.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0194189-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
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번호 청구항
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하부 측에 측정 대상물이 이격되게 위치되는 간섭용 대물렌즈부재, 상기 간섭용 대물렌즈부재의 하부면과 이격되게 배치되어 간섭용 대물렌즈부재와 측정 대상물의 사이에 위치되는 기준미러부재;상기 기준미러부재와 측정 대상물의 사이에 배치되며 빛의 일부를 투과시키고 빛의 일부를 반사시키는 빔스플리터부재;상기 기준미러부재와 상기 빔스플리터부재가 장착되며 상기 기준미러부재와 상기 빔스플리터부재의 위치를 지지하는 미러위치 지지대부재;상기 간섭용 대물렌즈부재의 열팽창에 의한 상기 간섭용 대물렌즈부재의 길이변화를 감지하는 길이변화량 감지센서;상기 미러위치 지지대부재를 승하강시키는 지지대 승하강기기; 열팽창 또는 열수축에 의한 상기 간섭용 대물렌즈부재의 길이변화에 따라 변화하는 빛의 초점위치에 맞게 상기 측정 대상물을 상, 하 이동시키는 측정체 승하강기기; 및 상기 길이변화량 감지센서, 상기 지지대 승하강기기, 상기 측정체 승하강기기와 연결되어 상기 길이변화량 감지센서에 의해 감지된 상기 간섭용 대물렌즈부재의 길이변화량에 따라 상기 지지대 승하강기기와 상기 측정체 승하강기기의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 길이변화량 감지센서는 센서승하강기기를 포함하여 센서를 상, 하 이동시키면서 레이저를 통해 상기 간섭용 대물렌즈부재의 길이 변화량을 측정하며,상기 제어부는 상기 길이변화량 감지센서에 의해 감지된 상기 간섭용 대물렌즈부재의 길이변화 시 변경되는 투과광의 초점 위치에 따라 상기 빔스플리터부재에서 상기 기준미러부재까지의 광경로와 상기 빔스플리터부재에서 투과광의 초점까지의 광경로가 일치되게 상기 지지대 승하강기기와 상기 측정체 승하강기기의 작동을 제어하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정용 미라우 타입 간섭렌즈 구조체
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 선문대학교 산학협력단 산학연협력 기술개발사업 백색광 주사간섭을 활용한 2차원, 3차원 측정 알고리즘 개발 및 분석 프로그램 개발