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미켈슨 간섭계의 3차원 형상 측정장치(3-DIMENSIONAL SHAPE MEASURING APPARATUS OF MICHELSON INTERFEROMETER)

  • 기술번호 : KST2018003342
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미켈슨 간섭계의 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로 대물렌즈부재를 통과하여 빔스플리터부재를 통해 기준미러부재로 향하는 빛을 차단하여 측정 대상물의 3차원 형상 측정과 2차원 형상 측정이 선택적으로 가능하며 기준미러부재로 반사되는 빛의 양을 투과율과 반사율을 조합하여 더 세밀하게 조절하여 측정 대상물과 기준미러와의 반사율을 최대한 일치시켜 영상의 가시도와 선명도를 최대한 향상시킬 수 있다.
Int. CL G01B 11/24 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01) G02B 27/10 (2006.01.01) G02B 27/14 (2006.01.01)
CPC G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01)
출원번호/일자 1020160116295 (2016.09.09)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1845255-0000 (2018.03.29)
공개번호/일자 10-2018-0028679 (2018.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20180528) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호환 대한민국 세종특별자치시 마음안로 ,
2 이현 대한민국 충청남도 아산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최호석 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **(도곡동)(더호특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 김호환 세종특별자치시 마음안로 **,
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0882313-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0133595-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0664094-03
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1139476-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1139475-02
7 등록결정서
Decision to grant
2018.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0209811-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
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번호 청구항
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광원에서 발생된 빛을 통과시켜 집속하는 대물렌즈부재;상기 대물렌즈부재를 통과한 빛 중 일부를 투과시켜 측정 대상물로 조사하고 나머지 빛을 다른 방향으로 조사되게 하는 빔스플리터부재;상기 빔스플리터부재에서 분리되어 다른 방향으로 조사되는 빛을 다시 상기 빔스플리터부재로 반사시키는 기준거울부재;상기 빔스플리터부재와 상기 기준거울부재의 사이에 배치되며 광투과율이 서로 다른 복수의 광투과부가 구비된 광투과율 조절부재; 및 상기 광투과율 조절부재의 복수의 광투과부 중 어느 하나를 상기 빔스플리터부재에서 분할된 빛이 통과될 수 있게 선택적으로 배치시키는 광투과율 조절기기를 포함하며, 서로 다른 반사율을 가지는 복수의 기준거울부재가 구비된 반사율 조절부재;상기 반사율 조절부재의 복수의 기준거울부재 중 어느 하나를 상기 빔스플리터부재에서 분할된 빛을 반사할 수 있게 선택적으로 배치시키는 반사율 조절기기;상기 측정 대상물의 반사율을 측정하는 반사율 감지센서부; 및 상기 반사율 감지센서부에서 측정된 상기 측정 대상물의 반사율을 전달받아 상기 광투과율 조절기기, 상기 반사율 조절기기의 작동을 제어하는 광제어부를 포함하며,상기 광투과율 조절부재는 광투과율이 서로 다른 복수의 광투과부가 회전 중심을 기준으로 일정 반경에 이격되게 배치되는 광투과율 조절 회전판부재이고, 상기 광투과율 조절기기는 광투과율 조절 회전판부재를 회전시키는 제1회전모터이며, 상기 반사율 조절부재는 광반사율이 서로 다른 복수의 기준거울부재가 회전 중심을 기준으로 일정 반경에 이격되게 배치되는 광반사율 조절 회전판부재이고, 상기 반사율 조절기기는 상기 광반사율 조절 회전판부재를 회전시키는 제2회전모터이고, 상기 반사율 조절부재와 상기 광반사율 조절 회전판부재 중 적어도 어느 한 측에는 상기 빔스플리터부재에서 분할된 빛을 차단하는 광차단부 또는 반사방지부가 구비되어 상기 빔스플리터부재에서 분할된 빛이 상기 기준거울부재에 의해 반사되는 것을 차단하거나 방지하며,상기 광제어부는 상기 기준거울부재에서 반사된 빛과 측정 대상물에서 반사된 빛의 양이 상기 빔스플리터부재를 기준으로 상기 반사율 감지센서부에서 측정된 측정 대상물의 반사율에 따라 서로 다른 광투과율을 가지는 복수의 광투과부 중 어느 한 광투과부와 서로 다른 반사율을 가지는 복수의 기준거울부재 중 어느 하나를 각각 선택하도록 상기 광투과율 조절기기와 상기 반사율 조절기기를 작동시켜 상기 기준거울에서 반사되어 상기 광투과부를 통과한 반사율이 측정 대상물의 반사율과 일치되게 하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 미켈슨 간섭계의 3차원 형상 측정장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 선문대학교 산학협력단 산학연협력 기술개발사업 백색광 주사간섭을 활용한 2차원, 3차원 측정 알고리즘 개발 및 분석 프로그램 개발