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셀렌화 및 황화 열처리를 통한 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지 광흡수층의 제조방법 및 상기 광흡수층을 함유한 박막 태양전지(Manufacturing method of thin film solar cell light absorber with controlled selenium and sulfer ration and thin film solar cell comprising therof)

  • 기술번호 : KST2018003672
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 셀렌화 및 황화 열처리를 통한 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지 광흡수층의 제조방법 및 상기 광흡수층을 함유한 박막 태양전지에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명에 따른 광흡수층 내 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지의 광흡수층 제조는, 후면 전극층 상에 금속, 금속 황 또는 금속 셀렌을 포함하는 금속 화합물 전구체를 증착하는 단계; 순수 셀렌 금속을 이용하여 셀렌(Se)화 공정을 진행하는 단계; 셀렌화 공정 후 잔유 셀렌 물질 및 기화 가스를 제거(purge) 하는 단계; 및 황화 수소(H2S) 가스 주입 및 황화 열처리를 순차적으로 진행하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 방법은 흡수층 내에서 셀렌과 황의 비율을 적절하게 조정하여 밴드갭 조절이 가능한 고품질의 화합물 태양전지의 제조에 유용하게 활용할 수 있다.
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020170124487 (2017.09.26)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0034285 (2018.04.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160124169   |   2016.09.27
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.09.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손대호 대구광역시 달성군
2 강진규 대구광역시 수성구
3 양기정 대구광역시 수성구
4 김대환 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0941835-57
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0485518-06
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0903360-26
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0903362-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
6 등록결정서
Decision to grant		 2019.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0018016-02
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
후면 전극층 상에 금속, 금속 황 또는 금속 셀렌을 포함하는 금속 화합물 전구체를 증착하는 단계;순수 셀렌 금속 파우더를 이용하여 셀렌(Se)화 공정을 진행하는 단계;셀렌화 공정 후 잔유 셀렌 금속 파우더 및 셀렌의 기화 가스를 제거(purge) 하는 단계; 및황화 수소(H2S) 가스를 500 sccm ~ 2000 sccm의 양으로 주입하고 500~1000 Torr에서 황화 열처리를 순차적으로 진행하는 단계를 포함하되,상기 금속 화합물 전구체 증착은 300±30℃온도에서 수행하고, 상기 셀렌화 공정은 430±10℃ 온도에서 수행하며, 상기 순수 셀렌 금속 파우더의 무게는 셀렌(Se)화 공정을 위한 열처리 챔버 부피 300 cm3 당 0
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 화합물 전구체는 Cu, Zn 또는 Sn; CuS, ZnS 또는 SnS 의 금속 황화 물질; CuSe, ZnSe 또는 SnSe의 금속 셀렌 화합물; 및 CuSSe, ZnSSe 또는 SnSSe 의 금속 황화 셀렌 화합물;로 이루어진 군 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는,광흡수층 내의 황(S)/셀렌(Se)의 조성비가 0
3 3
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4 4
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5 5
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6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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10 10
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 대구경북과학기술원 신재생에너지기술개발사업 (4차)초저가 금속원소를 이용한 고효율 (14.5%) CZTS 화합물 박막태양전지 개발
2 미래창조과학부 대구경북과학기술원 일반사업 차세대 태양전지 기술 개발