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위상 절연체 및 전이금속 산화물을 포함하는 전자 장치(Electronic device including topological insulator and transition metal oxide)

  • 기술번호 : KST2018003680
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예들에 따르면, 위상 절연체 및 전이금속 산화물을 포함하는 전자 장치가 제공된다. 상기 전자 장치는 서로 대향하는 제1 면 및 제2 면을 포함하는 위상 절연 층, 및 상기 위상 절연 층의 상기 제1 면 상에 배치되는 전이금속 산화물 층을 포함한다. 상기 위상 절연 층은 1nm 내지 10nm의 두께를 갖는다.
Int. CL H01L 43/02 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01) H01L 45/00 (2006.01.01) C01G 23/047 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) H01B 3/02 (2006.01.01) H01B 3/12 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170043179 (2017.04.03)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0034183 (2018.04.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160123915   |   2016.09.27
대한민국  |   1020160129662   |   2016.10.07
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.04)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조만호 대한민국 서울시 강남구
2 정광식 대한민국 서울특별시 서대문구
3 고대홍 대한민국 경기도 고양시 일산서구
4 임동혁 대한민국 경기도 파주시 독서울*
5 김태현 대한민국 경기도 화성

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0326122-19
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2020.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-0228621-07
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번호 청구항
1 1
서로 대향하는 제1 면 및 제2 면을 포함하는 위상 절연 층; 및상기 위상 절연 층의 상기 제1 면 상에 배치되는 전이금속 산화물 층을 포함하는 전자 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 위상 절연 층은 1nm 내지 10nm의 두께를 갖는 전자 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 위상 절연 층은 화학식 AXBYCZDW(0003c#X≤10, 0003c#Y≤10, 0003c#Z≤10, 0003c#W≤10)로 표현되는 화합물을 포함하되, 상기 A 및 상기 B는 각각 Bi, Sb, Tl, Pb, Sn, In, Ga, 또는 Ge 중에서 선택된 원소이고, 상기 C 및 상기 D는 각각 Se, Te, 또는 S 중에서 선택된 원소인 전자 장치
4 4
제1 항에 있어서,상기 전이금속 산화물 층은 상기 제1 면과 접하는 전자 장치
5 5
제1 항에 있어서,상기 전이금속 산화물 층 상에 제공되는 게이트 전극을 더 포함하되,상기 게이트 전극은 상기 전이금속 산화물 층에 전압을 가하도록 구성되는 전자 장치
6 6
제5 항에 있어서, 상기 전압에 의해 상기 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 밀도가 제어되는 전자 장치
7 7
제5 항에 있어서,상기 전압에 의해 상기 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 전하 상태가 제어되는 전자 장치
8 8
제1 항에 있어서, 상기 제2 면 상에 배치되는 제1 및 제2 소스/드레인 전극들을 더 포함하되,상기 제1 및 제2 소스/드레인 전극들 사이의 상기 제2 면은 채널 영역으로 정의되고,평면적 관점에서, 상기 전이금속 산화물 층은 상기 채널 영역과 적어도 부분적으로 중첩되는 전자 장치
9 9
제1 항에 있어서, 상기 제1 면 상에 배치되는 제1 및 제2 소스/드레인 전극들을 더 포함하되,상기 제1 및 제2 소스/드레인 전극들은 상기 전이금속 산화물 층을 사이에 두고 서로 이격하는 전자 장치
10 10
제1 항에 있어서,상기 전이금속 산화물 층은 제1 서브 산화물 층 및 제2 서브 산화물 층을 포함하되,상기 제2 서브 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 밀도는 상기 제1 서브 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 밀도보다 큰 전자 장치
11 11
제10 항에 있어서,상기 제1 서브 산화물 층은 상기 위상 절연 층과 상기 제2 서브 산화물 층 사이에 위치하는 전자 장치
12 12
제10 항에 있어서,상기 제2 서브 산화물 층은 상기 위상 절연 층과 상기 제1 서브 산화물 층 사이에 위치하는 전자 장치
13 13
위상 절연 층, 상기 위상 절연 층의 표면은 채널 영역을 포함하는 것;평면적 관점에서, 상기 채널 영역과 중첩되도록 제공되는 전이금속 산화물 층; 및상기 전이금속 산화물 층 상에 제공되는 게이트 전극을 더 포함하되,상기 게이트 전극은 상기 전이금속 산화물 층에 전압을 가하도록 구성되는 전자 장치
14 14
제13 항에 있어서,상기 위상 절연 층은 1nm 내지 10nm의 두께를 갖는 전자 장치
15 15
제13 항에 있어서,상기 채널 영역의 저항은 상기 전압에 의해 제어되는 전자 장치
16 16
제15 항에 있어서, 상기 전압에 의해 상기 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 밀도가 제어되는 전자 장치
17 17
제15 항에 있어서,상기 전압에 의해 상기 전이금속 산화물 층의 산소 결함들의 전하 상태가 제어되는 전자 장치
18 18
서로 대향하는 일면 및 타면을 포함하는 위상 절연 층;상기 일면 상에 서로 이격하여 제공되는 제1 및 제2 소스/드레인 전극들, 상기 제1 및 제2 소스/드레인 전극들 사이의 상기 일면은 채널 영역으로 정의되는 것;상기 위상 절연 층의 상기 일면 또는 상기 타면 상에 제공되는 전이금속 산화물 층, 평면적 관점에서 상기 전이금속 산화물 층은 상기 채널 영역과 적어도 부분적으로 중첩되는 것; 및상기 전이금속 산화물 층 상에 제공되는 게이트 전극을 포함하는 전자 장치
19 19
제18 항에 있어서,상기 위상 절연 층은 1nm 내지 10nm의 두께를 갖는 전자 장치
20 20
제18 항에 있어서,상기 게이트 전극은 상기 전이금속 산화물 층에 전압을 가하도록 구성되고,상기 전이금속 산화물 층에 가해지는 상기 전압에 의해 상기 채널 영역의 저항 상태가 제어되는 전자 장치
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