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기판, 희생층(sacrificial layer) 및 나노 멤브레인이 순차적으로 적층된 구조를 가지는 다층 구조물의 상기 희생층과 식각 용액을 반응시켜 마이크로-나노 패턴(pattern) 또는 터널(tunnel)을 형성시키는 단계를 포함하되,상기 마이크로-나노 패턴(pattern)을 형성시키는 단계는 하기 A) 또는 B)를 포함하고, 상기 마이크로-나노 터널(tunnel)을 형성시키는 단계는 하기 C)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법:A) (1) 몰드에 식각 용액을 공급하는 단계; (2) 상기 몰드를, 기판, 희생층(sacrificial layer) 및 나노 멤브레인이 순차적으로 적층된 구조를 가지는 다층 구조물의 상기 나노 멤브레인의 상면에 접합하는 단계; (3) 상기 식각 용액 및 희생층을 반응시켜 금속 수산화물로 이루어진 패턴을 형성시키는 단계; 및 (4) 상기 몰드를 제거하는 단계,B) (i) 점형 패턴이 형성된 몰드에 식각 용액을 공급하고, 상기 몰드를, 기판, 희생층 및 나노 멤브레인이 순차적으로 적층된 구조를 가지는 다층 구조물의 상기 나노 멤브레인의 상면에 접합하는 단계; (ii) 상기 식각 용액 및 희생층을 반응시켜 상기 나노 멤브레인 상에 금속 수산화물의 점형 홀 배열 패턴(hole array of pattern)을 형성시키는 단계; (iii) 상기 점형 홀 배열 패턴이 형성된 다층 구조물에 식각 용액을 공급하고, 상기 나노 멤브레인을 식각하여 금속 수산화물 및 나노 멤브레인에 점형 홀 배열 패턴을 형성시키는 단계; 및 (iv) 상기 점형 홀 배열 패턴을 형성시킨 다층 구조물의 상면에 고분자를 코팅하여 고분자층을 형성시키고, 식각용액을 공급해 상기 희생층 및 기판을 제거하여 점형 공동 배열 패턴(cavity array of pattern)이 형성된 마이크로-나노 구조물을 제조하는 단계,C) (a) 기판, 희생층(sacrificial layer) 및 나노 멤브레인이 순차적으로 적층된 구조를 가지는 다층 구조물의 상기 나노 멤브레인의 상면에 개방형 몰드를 적층하는 단계; (b) 상기 개방형 몰드에 식각 용액을 공급하는 단계; (c) 상기 식각 용액 및 상기 희생층을 반응시켜 터널(tunnel)을 형성시키는 단계; 및 (d) 상기 몰드를 제거하는 단계
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제1항에 있어서,상기 나노 멤브레인은 금(Au) 나노 멤브레인, 은(Ag) 나노 멤브레인 또는 백금(Pt) 나노 멤브레인인 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 나노 멤브레인은 금(Au) 나노 멤브레인이고, 상기 금(Au) 나노 멤브레인은 두께가 10 내지 40 nm인 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 희생층은 알루미늄(Al), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 탄탈럼(Ta), 하프늄(Hf), 아연(Zn), 철(Fe), 구리(Cu), 주석(Sn), 납(Pb), 갈륨(Ga), 베릴륨(Be), 게르마늄(Ge), 비스무트(Bi), 인듐(In), 니켈(Ni), 팔라듐(Pb), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 니오븀(Nb) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 희생층은 폴리(3-옥틸티오펜)[Poly(3-octylthiophene), P3OT], 폴리(3-헥실티오펜)[Poly(3-hexylthiophene), P3HT] 및 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜):폴리(스티렌술폰산염)[Poly(3,4-ethylenedioxythiophene):poly(styrenesulfonate), PEDOT:PSS]으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전도성 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 희생층은 두께가 30 내지 200 nm인 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 식각 용액은 수산화 칼륨(KOH), 수산화 나트륨(NaOH), 수산화 칼슘(Ca(OH)2), 암모니아수(NH4OH), 톨루엔(C7H8(C6H5CH3)), 과산화수소(H2O2), 수산화바륨(Ba(OH)2) 및 코발트 수산화물(Co(NH3)6(OH)3)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 A)에서의 상기 몰드는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 C)에서의 상기 몰드는 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로-나노 구조물의 제조방법
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