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회전 스테이지 상에 수직으로 배치된 모세관 내에 시료가 삽입된 후 프로세서가 상기 모세관을 향해 X-선을 투사하도록 X-선 튜브를 제어함으로써 투영막에 상기 모세관을 촬영하여 기준 이미지로 설정하는 단계;상기 프로세서가 상기 회전 스테이지를 회전시키면서 상기 X-선 튜브를 제어하여 기 설정된 각도마다 상기 모세관의 회전 이미지를 상기 투영막에 촬영하는 단계;상기 프로세서가 상기 기준 이미지를 기초로 상기 촬영된 회전 이미지 각각에 포함된 상기 모세관 또는 상기 시료의 상대적 위치 차이를 산출하는 단계;상기 프로세서가 상기 촬영된 회전 이미지 각각에 대해 상기 모세관 또는 상기 시료의 상대적 위치 차이를 보정하여 상기 시료의 위치를 정렬하는 단계; 및상기 프로세서가 복수의 상기 정렬된 회전 이미지를 이용하여 단층 촬영 이미지를 획득하는 단계;를 포함하는 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 상대적 위치 차이를 산출하는 단계는,상기 프로세서가 상기 촬영된 회전 이미지의 칼럼을 따라 각 픽셀의 광 강도를 합산하여 수평축 상에 표시(plot)하고, 상기 표시된 광 강도가 피크(peak)인 지점을 상기 모세관의 수평 경계면으로 판단하는, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제2항에 있어서,상기 상대적 위치 차이를 산출하는 단계는,상기 프로세서가 상기 기준 이미지 내의 모세관의 수평 경계면 위치 및 상기 촬영된 회전 이미지 내의 상기 모세관의 수평 경계면 위치 간의 차이를 상기 모세관의 수평 경계면의 상대적 위치 차이로 산출하는, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 상대적 위치 차이를 산출하는 단계는,상기 프로세서가 상기 촬영된 회전 이미지의 열을 따라 각 픽셀의 광 강도를 합산하여 수직축 상에 표시(plot)하고, 상기 표시된 광 강도가 피크(peak)인 지점을 상기 시료의 수직 경계면으로 판단하는, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제4항에 있어서,상기 상대적 위치 차이를 산출하는 단계는,상기 프로세서가 상기 기준 이미지 내의 시료의 수직 경계면 위치 및 상기 촬영된 회전 이미지 내의 상기 시료의 수직 경계면 위치 간의 차이를 상기 시료의 수직 경계면의 상대적 위치 차이로 산출하는, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 모세관은 원통 형태인, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 시료는,캐소드 재로 분말로써 정전기력에 의해 상기 모세관에 부착되는, 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 프로세서가 커브드 피팅 방식을 이용하여 상기 촬영된 회전 이미지에 포함된 불균일 정보를 제거하는 단계;를 더 포함하는 단층 촬영 장치의 오차 제거 방법
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회전 스테이지;상기 회전 스테이지에 수직으로 배치되고 시료가 삽입되는 모세관;상기 모세관을 향해 X-선을 투사하는 X-선 튜브; 상기 투사된 X-선에 의해 상기 모세관의 이미지가 촬영되는 투영막; 및상기 회전 스테이지가 회전하도록 제어하는 프로세서;를 포함하며,상기 프로세서는,상기 모세관을 촬영하여 기준 이미지로 설정하고, 상기 회전 스테이지를 회전시키면서 기 설정된 각도마다 상기 모세관의 회전 이미지를 촬영하며, 상기 기준 이미지를 기초로 상기 촬영된 회전 이미지 각각에 포함된 상기 모세관 또는 상기 시료의 상대적 위치 차이를 산출하고, 상기 촬영된 회전 이미지 각각에 대해 상기 모세관 또는 상기 시료의 상대적 위치 차이를 보정하여 상기 시료의 위치를 정렬하며, 복수의 상기 정렬된 회전 이미지를 이용하여 단층 촬영 이미지를 획득하는, 단층 촬영 장치
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