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불휘발성 강유전체 인버터 및 작동방법(Non-volatile Ferroelectric Inverter and Method of the same)

  • 기술번호 : KST2018003761
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 게이트 전극과 기판 사이에 강유전체층 및 삽입층을 도입한 불휘발성 강유전체 인버터 및 이의 작동방법이 개시된다. 불휘발성 강유전체 인버터의 반복 동작시, 강유전체층의 피로도가 증가하게 된다. 이를 억제하여 소자의 신뢰도 및 수명 향상을 위해 강유전체층의 양측으로 삽입층을 배치한 불휘발성 강유전체 인버터를 제작한다.
Int. CL H01L 27/092 (2006.01.01) H01L 21/8238 (2006.01.01) H01L 29/51 (2006.01.01)
CPC H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01) H01L 27/092(2013.01)
출원번호/일자 1020160124492 (2016.09.28)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0034813 (2018.04.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유인경 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 황현상 대한민국 대구광역시 수성구
3 이장식 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0938778-36
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0542112-10
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0980533-22
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0980534-78
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0132990-43
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0228048-96
7 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2018.03.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0228049-31
8 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2018.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0194097-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
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반도체 기판 상에 형성된 PMOS 트랜지스터, 상기 반도체 기판 상에 형성되고, 상기 PMOS 트랜지스터와 전기적으로 연결된 NMOS 트랜지스터를 포함하고, 상기 PMOS 트랜지스터의 동작은 제1 강유전체층을 통해 제어되고, 상기 NMOS 트랜지스터의 동작은 제2 강유전체층을 통해 제어되는 불휘발성 강유전체 인버터의 동작 방법에 있어서,PMOS 트랜지스터의 제1 소스 전극에 공급전압을 인가하는 단계;제1 게이트 전극(150) 및 제2 게이트 전극(150')에 입력논리값 "1"인, 게이트 전압을 인가하는 단계; 상기 게이트 전압에 의해 제1 강유전체에 인가되는 전압(VF)이 제1 강유전체 분극 전압(VC)보다 크도록 인가된 단계(VF003e#VC); 및상기 불휘발성 강유전체 인버터의 출력 전압이 출력 논리값 '0'의 값인, Vout=0V인 것을 확인하는 단계를 포함하고,상기 게이트 전압의 마지막 상태를 확인하기 위해, 상기 제1 강유전체의 분극을 방지하는 전압(Vr)을 제1 소스 전극에 인가하는 단계;상기 출력 전압이 출력 논리값 "0"의 출력 값인 0V로 확인 되는 경우에는, 상기 불휘발성 강유전체 인버터의 상기 게이트 전압의 마지막 상태가 VG(003e#0V)인 것을 확인하거나, 또는 상기 출력 전압이 출력논리값 "1"의 출력 값인 Vout003e#0V로 확인 되는 경우에는, 상기 불휘발성 강유전체 인버터의 상기 게이트 전압의 마지막 상태가 VG=0V인 것을 확인하는 단계; 및불휘발성 강유전체 인버터의 마지막 상태를 확인 후에 상기 제1 소스 전극에 전압(VDD)를 인가하는 불휘발성 강유전체 인버터의 작동 방법
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제11항에 있어서,상기 게이트 전극에 입력 논리값이 "0"인, 상기 게이트 전압이 0 V가 되도록 상기 게이트 전압을 인가하는 단계;상기 제1 소스 전극에 인가된 전압(VDD)에 의해 강유전체에 인가되는 전압(VF)이 상기 제1 강유전체 분극 전압보다 크게 유지되는 단계(V‘F003e#VC); 및상기 불휘발성 강유전체 인버터의 출력 전압이 출력 논리값 "1"의 값인, 출력 전압(Vout003e#0V)을 확인하는 단계를 포함하고,상기 게이트 전압의 마지막 상태를 확인하기 위해, 상기 제1 강유전체의 분극을 방지하는 전압(Vr)을 제1 소스 전극에 인가하는 단계;상기 출력 전압이 출력 논리값 "0"의 출력 값인 0V로 확인 되는 경우에는, 상기 불휘발성 강유전체 인버터의 상기 게이트 전압의 마지막 상태가 VG(003e#0V)인 것을 확인하거나, 또는 상기 출력 전압이 출력논리값 "1"의 출력 값인 Vout003e#0V로 확인 되는 경우에는, 상기 불휘발성 강유전체 인버터의 상기 게이트 전압의 마지막 상태가 VG=0V인 것을 확인하는 단계; 및불휘발성 강유전체 인버터의 마지막 상태를 확인 후에 상기 제1 소스 전극에 전압(VDD)를 인가하는 불휘발성 강유전체 인버터의 작동 방법
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1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 미래유망융합기술파이오니어사업 뉴로모픽 소자용 고집적 시냅스 소자 및 집적공정 개발