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크로스토크를 감소시키는 실리콘 광증배관 소자(SILICON PHOTOMULTIPLIER REDUCING OPTICAL CROSSTALK)
- 기술번호 : KST2018003789
- 담당센터 : 경기기술혁신센터
- 전화번호 : 031-8006-1570
| 요약 | 본 발명은 다수의 마이크로 픽셀로 이루어진 크로스토크를 감소시키는 실리콘 광증배관 소자(Silicon Photomultiplier)에 대해 개시한다. 본 발명에서 제안하는 실리콘 광증배관 소자는 마이크로 픽셀들을 전기적으로 서로 분리시키는 다수의 트랜치 구조; 및 트랜치 구조 내부에 채워져 마이크로 픽셀 간의 크로스토크 현상을 감소시키는 알루미늄 물질을 포함한다. |
|---|---|
| Int. CL | G01J 1/44 (2006.01.01) H01L 31/107 (2006.01.01) |
| CPC | G01J 1/44(2013.01) G01J 1/44(2013.01) G01J 1/44(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020160125250 (2016.09.29) |
| 출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2018-0035334 (2018.04.06) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 공개 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | N |
| 심사청구항수 | 3 |