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실리콘 웨이퍼 공정 부산물인 실리콘의 재활용 방법(METHOD FOR RECYCLING BY-PRODUCT OF SILICON FROM SILICON WAFER PROCESSING)

  • 기술번호 : KST2018003812
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 웨이퍼 절삭 공정에서 발생하는 실리콘 폐수로부터 실리콘 회수하여 재활용하는 방법이 제공된다. 이는 실리콘이 포함된 폐수를 준비하는 단계와, 실리콘이 포함된 폐수에 아민기를 포함하는 용액을 소정 비율로 혼합하는 단계와, 응집된 실리콘을 필터링하는 단계를 포함한다. 이러한 방법은 실리콘의 응집을 위해 아민기를 첨가하는 간단한 방식을 채택함으로써 친환경적이고 경제적인 실리콘 재활용 방법을 제공하게 된다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02079(2013.01) H01L 21/02079(2013.01) H01L 21/02079(2013.01)
출원번호/일자 1020160125317 (2016.09.29)
출원인 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0035362 (2018.04.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.20)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김우병 대한민국 경기도 화성
2 이민지 대한민국 서울특별시 강서구
3 박현수 대한민국 서울특별시 동작구
4 주소영 대한민국 경기도 수원시 영통구
5 최재영 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0944945-51
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1039409-86
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.11.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0059884-72
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0795901-17
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0072169-87
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0186937-20
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0186936-85
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0418065-00
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.07.12 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2019-0715436-22
11 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2019.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0114622-26
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2019.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0719992-89
13 법정기간연장승인서
 2019.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0116565-68
14 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2019.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0134227-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 웨이퍼 공정 부산물인 실리콘의 재활용 방법으로서:실리콘이 포함된 폐수를 준비하는 단계;상기 실리콘이 포함된 폐수에 아민기를 포함하는 용액을 소정 비율로 혼합하는 단계; 및응집된 실리콘을 필터링하는 단계;를 포함하는 실리콘의 재활용 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 아민기는 2-ethylhexyloxypropylamine, 3-ethoxypropylamine, 3-methoxypropylamine, allylamine, aminoguanidine, aminotriazole, aniline, benzylamine, butylamine, cyclohexylamine, dibutylaminopropylamine, dicyandiamide, dimethylaminopropylamine, ethylhexylamine, guanidine, hexylamine, isopropylamine, methyliminobispropylamine, monoethanolamine, monoethylamine, monomethylamine, octylamine, oleylamine, phenethylamine, propylamine, N-acetyl-m-phenylenediamine, 1,4-bis(3-aminopropyl)piperazine, 2,4-diamino-6-methyl-symtriazine, acetoguanamine, carbohydazide, ethylenediamine, hexamethylenediamine, phenylenediamine, thiocarbohydrazide을 포함하는 primary diamines, primary triamines, secondary monoamines, secondary diamines, tertiary amines 중의 어느 하나 이상인 것인, 실리콘의 재활용 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 아민기가 포함된 용액은 상기 실리콘이 포함된 폐수에 대하여 중량 비율로 1/50 내지 1/30 혼합하는 것인, 실리콘의 재활용 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.