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챔버;상기 챔버 내부에서 작업물을 회전시키기 위한 회전축;상기 챔버의 일측에 구비되며, 상기 작업물에 기체를 분사하는 노즐부;상기 챔버에 형성된 관통공을 통해 상기 챔버 내부의 기체를 상기 챔버 외부로 배출시켜, 상기 챔버 내부를 진공상태로 형성시키는 배출부; 및상기 노즐부에서 분사된 기체를 상기 관통공으로 안내하는 유로;를 포함하는 스핀 테스터
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 구비되어 상기 작업물을 내부에 수용하며, 상단부에서 상기 챔버 내부의 상면과 접하고, 하단부에 상기 기체가 통과하는 홀이 형성된 제1 안전환; 및상기 챔버 내부에 구비되어 상기 제1 안전환을 내부에 수용하며, 하단부에서 상기 챔버 내부의 하면과 접하고, 상단부에 상기 기체가 통과하는 홀이 형성된 제2 안전환을 더 포함하고, 상기 기체는 상기 제1 안전환의 홀, 상기 제1 안전환과 제2 안전환 사이의 공간, 및 상기 제2 안전환의 홀에 의해 형성되는 유로를 따라 상기 관통공으로 안내되는 스핀 테스터
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부에서 상기 작업물의 적어도 일부를 에워싸게 구비되며, 상기 챔버 내부의 상면에서 하측으로 연장되되, 상기 챔버 내부의 하면에서 이격되는 제1 가림부; 및상기 챔버 내부에서 상기 제1 가림부의 적어도 일부를 에워싸게 구비되며, 상기 챔버 내부의 하면에서 상측으로 연장되되, 상기 챔버 내부의 상면에서 이격되는 제2 가림부를 더 포함하고,상기 기체는 상기 제1 가림부의 하측에 형성된 이격공간, 상기 제1 가림부와 제2 가림부 사이의 공간, 및 상기 제2 가림부의 상측에 형성된 이격공간에 의해 형성되는 유로를 따라 상기 관통공으로 안내되는 스핀 테스터
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 구비되어 상기 작업물을 내부에 수용하며, 상단부와 하단부 중의 어느 하나인 제1 단부에서 상기 챔버 내부의 내면과 접하고, 상단부와 하단부 중의 다른 하나인 제2 단부에 상기 기체가 통과하는 홀이 형성된 안전환; 및상기 챔버 내부에 구비되되 상기 안전환의 내측이나 외측에 배치되고, 상기 챔버 내부의 상면과 하면 중에 상기 제2 단부에 대응되는 면에서 연장되되, 상기 챔버 내부의 상면과 하면 중에 상기 제1 단부에 대응되는 면에서 이격되는 가림부를 더 포함하는 스핀 테스터
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제1 항에 있어서,상기 챔버는, 상기 작업물을 수용하는 내부공간을 구비하고 상부가 개구된 몸체와, 상기 몸체의 개구를 밀폐하는 덮개부;를 포함하는 스핀 테스터
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제1항에 있어서,상기 배출부는, 상기 챔버의 상기 관통공에 연결되어, 상기 기체를 외부로 배출하도록 안내하는 배기부와, 상기 배기부와 연결된 펌프를 포함하는 스핀 테스터
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부에 송풍기가 더 구비되며, 상기 송풍기는 상기 노즐부로부터하향방향으로 유동하는 상기 기체를 상기 관통공까지 안내하는 스핀 테스터
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