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지지부재의 상부에 도전성의 기능화제를 포함하는 불소계고분자 복합 타겟을 부착하는 단계; 및상기 불소계고분자 복합 타겟의 양측 끝단에 고정핀을 이용하여 끼움 고정하는 단계;를 포함하는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟의 부착방법
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제1항에 있어서,상기 기능화제는 전도성입자, 전도성 고분자 및 금속성분에서 선택되는 하나 이상인 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟의 부착방법
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제1항에 있어서,상기 부착하는 단계 이전에, 상기 지지부재의 상부에 용융 접합되는 인듐 및 접착용 엘라스토머에서 선택되는 하나 이상의 접합용제를 도포하는 단계를 더 포함하는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟의 부착방법
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스퍼터링 챔버용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치로서,불소계고분자 복합 타겟이 고정되는 지지부재; 및상기 지지부재의 상부에 위치하고, 도전성의 기능화제의 함량구배를 가지는 불소계고분자 복합 타겟;을 포함하고, 나사 결합을 통해 지지부재에 상기 불소계고분자 복합 타겟이 체결 고정되는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제4항에 있어서,상기 불소계고분자 복합 타겟 길이방향의 양측 끝단에 위치하는 고정부재를 더 포함하는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제5항에 있어서,상기 고정부재는 상기 불소계고분자 복합 타겟의 양측 끝단에 “” 형태로 형성되는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제5항에 있어서,상기 고정부재는 상기 불소계고분자 복합 타겟 길이방향의 양측 끝단에 일정 간격으로 복수개의 삽입홀을 포함하고, 상기 삽입홀을 관통하여 나사 결합을 통해 지지부재에 체결 고정되는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제7항에 있어서,상기 고정부재의 상부 또는 가장자리부에 위치하는 절연부재;를 더 포함하는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제8항에 있어서,상기 고정부재 또는 절연부재의 상부에 위치하며, 상기 지지부재의 테두리부를 따라 형성되어, 상기 지지부재가 플라즈마에 노출되는 것을 방지하는 쉴드부재를 더 포함하는 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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제4항에 있어서,상기 불소계고분자 복합 타겟은 도전성의 기능화제를 포함하여 지지부재에 대한 접착력 향상을 위한 것인 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치
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MF 또는 DC 스퍼터링을 위한 롤투롤 장치의 스퍼터링 챔버, 상기 챔버 내부에 형성되는 제 1전극 인가부, 상기 제 1전극 인가부 상부에 위치하는 상기 제4항의 스퍼터링용 불소계고분자 복합 타겟 고정장치, 제 2전극 인가부 및 상기 제 1전극 인가부와 제 2전극 인가부 사이에 위치하는 피착체를 포함하는 스퍼터링 증착 시스템
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