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일 측면에는 글러브(glove)가 형성되고, 다른 측면에는 도어부가 형성되는 외부케이스; 및상기 외부 케이스의 내부에 수납되는 슬롯다이 코팅장비를 포함하고, 상기 슬롯다이 코팅장비는, 노즐을 통해 유체를 토출하여 기판에 코팅을 수행하는 슬롯다이; 펌프유닛을 포함하여 상기 슬롯다이로 유체를 펌핑(pumping)하여 공급하는 실린지; 상기 실린지와 상기 슬롯다이 사이에서 상기 유체가 이송되는 연결유닛; 상기 연결유닛에 장착되어, 상기 기판에 코팅을 수행하기 전에 반복 퍼징(fuzzing)으로 상기 펌핑에 따른 응답지연인 슬롯다이의 시정수를 계측하는 센서부; 상기 펌핑에 따른 응답지연을 고려하여 상기 기판의 이송 속도를 제어하는 이송 제어부; 및 상기 기판이 실장되는 스테이지의 일 측에 구비되어, 상기 슬롯다이의 시정수를 계측하기 위해 토출되는 유체를 저장하는 퍼징 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 시스템
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제1항에 있어서, 상기 센서부는 압력센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 시스템
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제1항에 있어서, 상기 펌핑에 따른 응답지연은, 룩업테이블(look-up table)로 저장되는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 시스템
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 이송제어부는, 상기 응답지연이 발생하는 구간에서 상기 응답지연에 비례하도록 상기 기판의 이송 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 시스템
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제1항에 있어서, 상기 슬롯다이 코팅장비는, 제1 공간, 및 상기 제1 공간의 상부에 상기 슬롯다이 및 상기 실린지가 수납되는 제2 공간을 각각 형성하는 프레임부;상기 제1 공간에 수납되며 상기 스테이지를 구동하는 구동부; 상기 제2 공간에 수납되며 상기 슬롯다이를 이송시키는 이송가이드; 및상기 프레임부의 상면에 실장되어 상기 제1 및 제2 공간들로 열을 인가하는 가열로를 포함하고, 상기 스테이지는 상기 제1 공간에 수납되는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 시스템
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일 측면에는 글러브가 형성되고, 다른 측면에는 도어부가 형성되는 외부케이스, 및 상기 외부케이스의 내부에 수납되는 슬롯다이 코팅장비를 포함하는 슬롯다이 시스템에서, 실린지를 조립하고 기판을 로딩(loading)하는 단계;상기 슬롯다이 코팅장비의 분위기를 제어하는 단계;반복 퍼징(fuzzing)으로 펌핑에 따른 응답지연인 시정수를 도출하는 단계; 펌핑(pumping)에 따른 응답지연을 고려하여 상기 기판의 이송 속도를 제어하며, 슬롯다이 코팅을 수행하는 단계;상기 기판을 언로딩(unloading)하는 단계; 및상기 슬롯다이 코팅장비를 청소하는 단계를 포함하고, 상기 반복 퍼징으로 펌핑되는 유체는 상기 기판이 실장되는 스테이지의 일 측에 구비되는 퍼징 스테이지에 저장되는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 제어방법
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제7항에 있어서, 상기 슬롯다이 코팅을 수행하기 전에, 상기 슬롯다이 코팅장비의 노즐을 청소하는 단계; 및매니스커스(meniscus) 제어를 수행하는 단계를 더 포함하는 슬롯다이 제어방법
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제9항에 있어서, 상기 실린지를 조립하는 단계, 및 상기 슬롯다이 코팅장비를 청소하는 단계는 상기 도어부를 개방한 상태에서 수행되고, 상기 슬롯다이 코팅장비의 분위기를 제어하는 단계는 상기 도어부를 닫은 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 제어방법
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제9항에 있어서,상기 슬롯다이 코팅장비의 노즐을 청소하는 단계는 상기 글러브를 사용하는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 제어방법
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제7항에 있어서, 상기 슬롯다이 코팅장비의 분위기를 제어하는 단계에서, 상기 외부케이스의 일측 하부로 질소가스를 유입하고, 상기 외부케이스의 타측 상부로 상기 질소가스를 유출시키는 것을 특징으로 하는 슬롯다이 제어방법
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