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코어-쉘 나노와이어를 포함하는 센서 및 이의 제조방법(Sensor having core-shell nanowire and preparing method of the same)

  • 기술번호 : KST2018004088
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기재; 상기 기재 상에 형성된 제1 금속 산화물을 포함하는 코어(core), 및 제2 금속 산화물을 포함하는 쉘(shell)로 이루어진 코어-쉘 나노와이어(nanowire); 및 상기 코어-쉘 나노와이어 상에 전극층을 포함하며, 상기 나노와이어 중 쉘의 두께는 디바이 길이(Debye length)의 1.1 내지 2.9 배인 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센서를 제공한다. 본 발명에 따라 제조되는 코어-쉘 나노와이어는, 기존의 나노와이어나 나타내는 가스 검출 특성의 한계 이상의 검출 특성을 나타내게 되며, 최적의 코팅층을 및 코어 쉘 구조의 제작에서 쉘의 두께를 결정하는 최적의 두께를 알아낼 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/26 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020140169200 (2014.11.28)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1621021-0000 (2016.05.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20160524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.11.28)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종무 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 박성훈 대한민국 인천광역시 부평구
3 김수현 대한민국 서울특별시 은평구
4 박수영 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1161813-99
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0012360-56
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0196003-24
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0373713-38
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-0373706-18
8 등록결정서
Decision to grant
2016.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0322039-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기재;상기 기재 상에 형성된 산화인듐(In2O3)을 포함하는 코어(core), 및 산화아연(ZnO)을 포함하는 쉘(shell)로 이루어진 코어-쉘 나노와이어(nanowire); 및상기 코어-쉘 나노와이어 상에 전극층을 포함하며,상기 나노와이어 중 쉘의 두께는 쉘 디바이 길이(Debye length)의 1
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 쉘의 두께는 쉘 디바이 길이의 1
4 4
제 1항에 있어서, 상기 쉘의 두께는 쉘 디바이 길이의 1
5 5
제 1항에 있어서, 상기 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센서는 수소(H2), 일산화탄소(CO), 메탄(CH4), 암모니아(NH3), 메탄올(CH3OH), 에탄올(C2H5OH), 프로판(C3H8), 황화수소(H2S), 벤젠(benzene), 디메틸아민(dimethylamine), 트리에틸아민(triethylamine), 톨루엔(toluene) 및 자일렌(xylene)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 기체를 감지하는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센서
6 6
삭제
7 7
기재 상에 산화인듐(In2O3)을 포함하는 코어를 형성하는 단계(단계 1);상기 코어 상에 산화아연(ZnO)을 포함하는 쉘을 형성함으로써 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센싱부를 형성하는 단계 (단계 2); 및상기 센싱부 상에 전극층을 형성하는 단계(단계 3);를 포함하며,상기 쉘의 두께는 쉘 디바이 길이의 1
8 8
제 7항에 있어서, 상기 단계 2의 쉘은 원자층 증착법을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센서의 제조 방법
9 9
제 7항에 있어서, 상기 쉘의 두께는 원자층 증착법의 수행 횟수(cycle 수)를 통해 조절되는 것을 특징으로 하는 코어-쉘 나노 와이어를 포함하는 센서의 제조 방법
10 10
제 7항에 있어서, 상기 쉘의 두께는 쉘 디바이 길이의 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인하대학교 산학협력단 중점연구소지원사업 그린 생체모방형 임플란터블 전자칩 및 U-생체정보처리 플랫폼 융합기술개발