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돔(dome) 형상을 이루며, 폴리머(polymer)로 형성되는 멤브레인(membrane);상기 멤브레인의 내막에 기 설정된 간격으로 이격되어 동일한 형상이 형성되는 압저항 전극; 및상기 폴리머로 형성되고, 상기 멤브레인과 접합되는 폴리머 기판을 포함하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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제 1항에 있어서,상기 멤브레인 및 상기 폴리머 기판 사이의 이격된 공간은,에어 갭(air gap)이 형성되는 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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제 1항에 있어서,상기 멤브레인 및 상기 폴리머 기판은, 플렉시블(flexible)하고, 기 설정된 강도를 포함하며, 전기적 절연이 되는 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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제 3항에 있어서,상기 멤브레인 및 상기 폴리머 기판은,폴리이미드(polyimide), 폴리디메틸시록산(polydimethylsiloxane) 및 패릴린(para-xylylene) 중 어느 하나의 고분자 복합체인 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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제 1항에 있어서,상기 동일한 형상은,부채꼴에서 상기 부채꼴의 크기보다 작고, 중심각이 동일한 부채꼴이 제거된 형상인 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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제 1항에 있어서,상기 압저항 전극은, 스트레인 게이지(strain gauge)를 포함하는 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서
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돔 형상을 제조하기 위한 제1 몰드에 폴리머를 코팅하는 단계;상기 코팅된 폴리머의 상면에 스트레인 게이지 물질을 증착하여 압력센서를 제조하는 단계;상기 제조된 압력센서에 상기 폴리머로 형성된 폴리머 기판을 접합하는 단계; 및상기 제1 몰드를 제거하는 단계를 포함하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서의 제조방법
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제 7항에 있어서,상기 폴리머 기판을 제조하기 위한 제2 몰드에 상기 폴리머를 코팅하는 단계; 및 상기 코팅된 폴리머로부터 제2 몰드를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 돔 구조의 스트레인 게이지 압력센서의 제조방법
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