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광원과, 상기 광원으로부터 이격되어 배치되는 회절격자와, 상기 회절격자와 이격되어 배치되어 상기 회절격자를 통과한 광원의 영상을 측정하는 영상측정기를 포함하는 곡률 반지름 측정장치를 이용하는 광의 파면 곡률 반지름 측정방법에 있어서, a) 광원에서 광이 발광되도록 한 후, 광이 회절격자(Grating)을 통과하고 발현시키는 회절무늬가 상기 회절격자와 동일한 모양으로 나타날 때까지 상기 회절격자와 상기 영상측정기 사이의 거리를 변화시키고, 상기 회절무늬의 주기(p')를 측정하는 단계; b) 상기 영상측정기 또는 상기 회절격자를 이동하는 단계;c) 상기 영상측정기 또는 상기 회절격자의 이동 후, 변화된 회절무늬를 상기 영상측정기로 측정하고, 변화된 회절무늬의 주기(p'), 회절격자의 이동거리(Sz) 및 상기 회절격자와 상기 영상측정기 사이의 거리 변화량(Dz) 중 하나 이상을 측정하는 단계;d) 상기 b),c) 단계를 n회(n은 정수) 반복하고, 측정된 n개의 회절무늬의 주기(p'), 회절격자의 이동거리(Sz) 및 상기 회절격자와 상기 영상측정기 사이의 거리 변화량(Dz) 중 하나 이상의 데이터를 이용하여, 광의 파면 곡률반지름(z0)을 산출하는 단계를 포함하는 광의 파면 곡률 반지름 측정 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b)단계는, 상기 영상측정기를, 상기 영상측정기가 측정하는 상기 회절무늬가 상기 회절격자의 격자 모양과 동일하게 되는 위치까지 이동시키는 단계를 포함하는 광의 파면 곡률 반지름 측정 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 b)단계는, 상기 영상측정기와 상기 회절격자를 동시에 일정간격 이동시키는 단계를 포함하는 광의 파면 곡률 반지름 측정 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 d)단계는, [수학식 2]를 이용하여, 회절격자의 주기(p), 광의 파면 곡률반지름(z0) 및 회절격자와 영상측정기의 초기거리(d0)를 산출하는 단계인 광의 파면 곡률 반지름 측정 방법
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청구항 4에 있어서, 상기 d)단계에서 비선형최소자승법이 사용되는 광의 파면 곡률반지름 측정방법
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청구항 5에 있어서, 상기 비선형최소자승법은, 측정을 통해 얻은 실험적인 회절무늬(p')의 주기들과 수학식 2를 통해 얻은 이론적인 회절무늬의 주기(p'이론)들의 차이가 최소가 되는 회절격자의 주기(p), 광의 파면 곡률반지름(z0) 및 회절격자와 영상측정기의 초기거리(d0)를 얻는 수치적인 방법인 광의 파면 곡률 반지름 측정 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 광원의 출광부는 공간 필터(Spatial filter)를 포함하는 파면 곡률 반지름 측정 방법
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