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전해액이 채워지며, 상기 전해액에 가공물이 잠기고, 상기 가공물을 지지하는 가공물 지그가 바닥면에 구비되는 전해조;상기 가공물의 상부에 인접하게 구비되는 전극;상기 전해조의 상부에 구비되며, 바닥면에는 복수개의 홀이 구비되는 상부 수조;상기 전해조의 전해액을 상기 상부 수조로 유동시키는 전해액 유동부;상기 상부 수조의 내부에 구비되며, 상기 상부 수조로 유동되어 상기 홀을 통해 상기 전해조로 공급되는 전해액의 양을 조절하도록 복수개의 슬릿이 형성된 전해액 조절 상판; 상기 가공물과 상기 전극에 전원을 공급하는 전원공급수단; 및상기 전해액 조절 상판과 연결되며, 상기 전해액 조절 상판을 상기 상부 수조의 내부에서 슬라이드 이동시키는 핸들부를 포함하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 1에 있어서,상기 가공물은 직사각형상의 금속 박판이고, 상기 금속 박판의 두께는 25 ~ 35㎛이며, 상기 전극은 상기 가공물과 동일한 형상 및 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 1에 있어서,상기 전해조의 일측 하부단에는 상기 전해액 유동부로 전해액을 배출하는 배출홀이 형성되고, 상기 배출홀을 통해 배출된 전해액은 상기 전해액 유동부를 통해 상기 상부 수조로 공급되는 것을 특징으로 하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 3에 있어서, 상기 전해액 유동부는,상기 배출홀에 일단이 연결되는 제1연결배관과,상기 제1연결배관의 타단에 연결되며, 상기 전해조에서 배출된 전해액이 저장되는 보조 수조와,일단이 상기 보조 수조와 연결되며, 상기 보조 수조에 저장된 전해액을 상기 상부 수조로 공급하는 제2연결배관,상기 제2연결배관 상에 구비되며, 상기 보조 수조에 저장된 전해액을 상기 상부 수조로 펌핑시키는 펌프와,상기 보조 수조의 일측에 구비되며 상기 보조 수조에서 상기 제2연결배관으로 공급되는 전해액에 포함된 분순물을 걸러주는 필터를 포함하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 4에 있어서,상기 전해액 유동부는,상기 제1연결배관 상에 구비되며 상기 전해조와 상기 보조 수조를 연결하는 상기 제1연결배관을 개폐하는 제1밸브와,상기 제2연결배관 상에 구비되며 상기 보조 수조와 상기 상부 수조를 연결하는 제2연결배관을 개폐하는 제2밸브를 더 포함하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 1에 있어서,복수개의 상기 슬릿은 직사각형상을 가지며, 각 슬릿의 폭은 상기 홀의 직경과 동일한 것을 특징으로 하는 마이크로 전해가공 장치
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청구항 6에 있어서,상기 핸들부에 의해 상기 전해액 조절 상판이 슬라이드 하여 복수개의 상기 슬릿이 상기 홀을 개폐시킴으로써 상기 상부 수조에서 상기 전해조로 공급되는 전해액의 양이 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 전해가공 장치
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