맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

광소결을 이용하여 폴리실라잔 막을 소결시키는 방법 및 그 방법에 의해 생성된 실리콘 막(A METHOD OF SINTERING A POLYSILAZANE FILM USING LIGHT SINTERING AND A SILICON FILM PRODUCTED BY THE METHOD)

  • 기술번호 : KST2018004411
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광소결을 이용한 폴리실라잔 막 소결 방법 및 그 방법으로 생성된 실리콘 막이 개시된다. 광소결을 이용한 폴리실라잔 막(polysilazane film) 소결 방법은, 기판 위에 폴리실라잔(polysilazane) 용액을 코팅하여 폴리실라잔 막을 형성시키는 단계(S100), 폴리실라잔 막이 형성된 상기 기판을 물에 넣는 단계(S110) 및 물에 잠긴 상기 폴리실라잔 막에 제논 램프(xenon lamp)를 조사하여 폴리실라잔 막을 소결시키는 단계(S120)를 포함할 수 있다. 따라서, 폴리실라잔 막을 물속에서 광소결 시킴으로써 물이 촉매로 작용하여 소결 속도를 향상시키고 물의 높은 열전도도로 열에 의한 기판 변형을 최소화할 수 있다.
Int. CL H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/477 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020170129216 (2017.10.10)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0040096 (2018.04.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160131564   |   2016.10.11
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.06)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 강찬모 대전광역시 유성구
2 도이미 대한민국 대전광역시 유성구
3 백규하 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0972997-50
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.10.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1053470-73
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.10.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-1053499-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광소결을 이용한 폴리실라잔(polysilazane) 막 소결 방법으로,기판 위에 폴리실라잔(polysilazane) 용액을 코팅하여 폴리실라잔 막을 형성시키는 단계;상기 폴리실라잔 막이 형성된 상기 기판을 물에 넣는 단계; 및물에 잠긴 상기 폴리실라잔 막에 제논 램프(xenon lamp)를 조사하여 상기 폴리실라잔 막을 경화시키는 단계를 포함하는, 폴리실라잔 막 소결 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 산업융합원천기술개발사업 150ºC이하 인쇄기반 플렉세블 디스플에이 백플레인용 산화물 반도체, 절연체 잉크소재 및 공정 기술 개발