| 1 |
1
광 신호를 수신하는 입력 도파로;상기 광 신호를 출력하는 출력 도파로;상기 입력 도파로로부터 분기되어 상기 출력 도파로로 연결되는 브랜치 도파로들; 및상기 브랜치 도파로들 상에 배치되어 상기 브랜치 도파로들을 가열하는 히터 전극들을 포함하되,상기 브랜치 도파로들은 서로 반대되는 부호의 제 1 및 제 2 열 광학 계수들을 갖는 제 1 및 제 2 위상 시프터들을 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 위상 시프터는 실리콘 질화물을 포함하되,상기 제 2 위상 시프터는 폴리머를 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 3 |
3
제 2 항에 있어서, 상기 실리콘 질화물은 0
|
| 4 |
4
제 2 항에 있어서, 상기 폴리머는 포토레지스트 또는 에폭시를 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 브랜치 도파로들은:상기 입력 도파로와 상기 제 1 및 제 2 위상 시프터들 사이의 제 1 광 결합기; 및상기 출력 도파로와 상기 제 1 및 제 2 위상 시프터들 사이의 제 2 광 결합기를 더 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 광 결합기들의 각각은 Y 브랜치 결합기, 멀티모드 간섭 커플러, 방향성 결합기, 3dB 결합기, 또는 50:50 결합기를 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 7 |
7
제 5 항에 있어서, 상기 브랜치 도파로들은, 상기 제 1 및 제 2 광 결합기가 상기 제 2 위상 시프터와 다른 두께를 가질 때, 상기 제 1 및 제 2 광 결합기들과 상기 제 2 위상 시프터를 테이퍼지게 연결하는 적어도 하나의 모드크기 변환기를 더 포함하는 열 광학 광 스위치
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 제 1 위상 시프터는 직 사각형의 단면을 갖되,상기 제 2 위상 시프터는 정 사각형의 단면을 갖는 열 광학 광 스위치
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 위상 시프터들과 상기 히터 전극들 사이의 클래드를 더 포함하되,상기 제 2 위상 시프터는 상기 클래드의 굴절률보다 크고 상기 제 1 위상 시프터의 굴절률보다 낮은 굴절률을 갖는 열 광학 광 스위치
|
| 10 |
10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 위상 시프터는 2
|
| 11 |
11
제 9 항에 있어서,상기 클래드 아래의 기판을 더 포함하되,상기 클래드는:상기 기판과 상기 제 1 위상 시프터 사이에 배치된 제 1 클래드; 및상기 제 1 클래드와 분리되어 상기 기판과 상기 제 2 위상 시프터 사이에 배치된 제 2 클래드를 포함하는 열 광학 광 스위치
|
