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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 기판으로서,기재 상에 인가용 전극인 제1 전극과, 측정용 전극인 제2 전극 및 제3 전극이 형성되고,상기 제1 전극은 원 형상을 가지며,상기 제2 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제1 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제1 전극과 이격 배치되고,상기 제3 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제2 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제2 전극과 이격 배치되며,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극의 전극체는 복수개가 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라 이격배치되고, 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라, 이웃하는 한쌍의 상기 전극체 사이를 분리하도록 형성되는 접지 전극을 더 포함하며,상기 기재는 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)인,액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서,상기 제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극에 각각 전달되는 제1 전류값 및 제2 전류값의 비율에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는, 액막 두께 측정 기판
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제2항에 있어서,상기 액막의 온도 변화에 대해서, 상기 제1 전류값과 상기 제2 전류값의 비율은 일정한, 액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극은 Cu, Ag, Au, Pt, Mo, Ni 중 적어도 어느 하나를 포함하는 재질이고, 상기 기재는 폴리이미드(Polyimide) 재질인, 액막 두께 측정 기판
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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 장치로서,상기 액막 두께 측정 장치는,기재, 및 상기 기재에 형성되는 인가용 전극인 제1 전극과, 측정용 전극인 제2 전극 및 제3 전극을 포함하는 액막 두께 측정 기판; 및상기 제1 전극에 전원을 인가하는 전원 인가부를 포함하며,상기 제1 전극은 원 형상을 가지며,상기 제2 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제1 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제1 전극과 이격 배치되고,상기 제3 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제2 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제2 전극과 이격 배치되며,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극의 전극체는 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라 이격배치되고, 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라, 이웃하는 한쌍의 상기 전극체 사이를 분리하도록 형성되는 접지 전극을 더 포함하며,상기 기재는 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)인,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극에 각각 전달되는 제1 전류값 및 제2 전류값의 비율에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 산출부를 더 포함하는, 액막 두께 측정 장치
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제10항에 있어서,상기 액막의 온도 변화에 대해서, 상기 제1 전류값과 상기 제2 전류값의 비율은 일정한, 액막 두께 측정 장치
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제11항에 있어서,상기 제1 전류값을 증폭시키는 제1 증폭기; 및상기 제2 전류값을 증폭시키는 제2 증폭기를 더 포함하는, 액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극의 전극체는 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라 이격배치되는, 액막 두께 측정 장치
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제13항에 있어서,상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라, 이웃하는 한쌍의 상기 전극체 사이를 분리하도록 형성되는 접지 전극을 더 포함하는, 액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극과 이격되어 배치되고, 상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극을 둘러싸며 폐쇄 영역을 형성하는 접지 전극을 더 포함하는, 액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,상기 기재는 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)인, 액막 두께 측정 장치
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제16항에 있어서,상기 제1 전극, 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극은 Cu, Ag, Au, Pt, Mo, Ni 중 적어도 어느 하나를 포함하는 재질이고, 상기 기재는 폴리이미드(Polyimide) 재질인, 액막 두께 측정 장치
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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 방법으로서,(a) 액막 내에 액막 두께 측정 기판 - 상기 액막 두께 측정 기판은 기재, 및 상기 기재에 형성되는 인가용 전극인 제1 전극과, 측정용 전극인 제2 전극 및 제3 전극을 포함함 - 을 배치하는 단계;(b) 전원 인가부가 상기 제1 전극에 전원을 인가하는 단계; 및(c) 산출부에서 상기 제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 상기 제2 전극 및 상기 제3 전극에 각각 전달되는 제1 전류값 및 제2 전류값을 획득하고, 상기 제1 전류값 및 상기 제2 전류값의 비율에 기초하여 상기 액막의 두께를 산출하는 단계를 포함하며,상기 제1 전극은 원 형상을 가지며,상기 제2 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제1 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제1 전극과 이격 배치되고,상기 제3 전극은 상기 제1 전극과 동심(同心)이고 상기 제2 전극의 반경보다 큰 반경을 가지는 링(Ring) 형상으로, 상기 제2 전극과 이격 배치되며,상기 제1 전극, 상기 제2 전극, 및 상기 제3 전극의 전극체는 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라 이격배치되고, 상기 기재 상에서 길이 방향 및 폭 방향을 따라, 이웃하는 한쌍의 상기 전극체 사이를 분리하도록 형성되는 접지 전극을 더 포함하며,상기 기재는 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)인,액막 두께 측정 방법
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