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PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법(Manufacturing method of multicomponent alloy target for PVD coating process)

  • 기술번호 : KST2018004541
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불규칙한 형상을 가지며 융점이 서로 다른 각각의 분말을 기 설정된 비율로 혼합한 원료분말을 별도의 수용용기에 수용하고 밀봉하는 투입단계, 상기 수용용기 내에 별도의 초경 볼을 투입하여 볼밀링을 통해 상기 원료분말을 분쇄 및 냉간접합 시켜 합금화 된 혼합분말을 생성하는 분쇄단계, 상기 분쇄단계를 거치며 분쇄된 상기 혼합분말을 밀폐 가능한 챔버 내에 구비되어 흑연으로 이루어진 흑연몰드 내부에 충진하는 충진단계, 상기 챔버 내부를 진공상태로 조절하는 진공화단계, 상기 흑연몰드 내부에 충진된 상기 혼합분말에 별도의 가압부를 이용하여 일정한 압력을 가압하며, 전류를 인가하여 기 설정된 승온패턴에 따라 설정 온도까지 승온 및 감온 시키는 성형단계 및 상기 성형단계 이후 일정 압력을 유지하면서 상기 흑연몰드를 냉각하는 냉각단계를 포함하며, 상기 분쇄단계에 의해 합금화가 진행된 상기 혼합분말이 상기 성형단계에서 각각의 서로 다른 소재가 용융되어 흘러내리지 않고 소결되는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법이 개시된다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01.01) B22F 3/12 (2006.01.01) B22F 5/00 (2006.01.01) C22C 14/00 (2006.01.01) C22C 1/04 (2006.01.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020160138460 (2016.10.24)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0045100 (2018.05.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.24)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오익현 대한민국 광주광역시 북구
2 박현국 대한민국 충남 천안시 서북구
3 장준호 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
3 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1031732-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.12.08 수리 (Accepted) 9-1-2017-0041027-71
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0004795-22
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0205843-94
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0322581-93
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2018-0418612-94
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0549133-64
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0549110-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0461411-68
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0772536-25
13 법정기간연장승인서
2018.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0125831-85
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0890565-84
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.09.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0890581-15
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0667573-10
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불규칙한 형상을 가지며 융점이 서로 다른 각각의 분말을 기 설정된 비율로 혼합한 원료분말을 별도의 수용용기에 수용하고 밀봉하는 투입단계;상기 수용용기 내에 별도의 초경 볼을 투입하여 볼밀링을 통해 상기 원료분말을 분쇄 및 냉간접합시켜 합금화 된 혼합분말을 생성하는 분쇄단계;상기 분쇄단계를 거치며 분쇄된 상기 혼합분말을 밀폐 가능한 챔버 내에 구비되어 흑연으로 이루어진 흑연몰드 내부에 충진하는 충진단계;상기 챔버 내부를 진공상태로 조절하는 진공화단계;상기 흑연몰드 내부에 충진된 상기 혼합분말에 별도의 가압부를 이용하여 일정한 압력을 가압하며, 전류를 인가하여 기 설정된 승온패턴에 따라 설정 온도까지 승온 및 감온 시키는 성형단계; 및 상기 성형단계 이후 일정 압력을 유지하면서 상기 흑연몰드를 냉각하는 냉각단계; 을 포함하며,상기 분쇄단계에 의해 합금화가 진행된 상기 혼합분말이 상기 성형단계에서 각각의 서로 다른 소재가 용융되어 흘러내리지 않고 소결되는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 성형단계는,상기 흑연몰드 내부의 압력을 60 MPa로 유지하고,상기 흑연몰드 내의 상기 원료분말에 대해 10 내지 80 ℃/min의 승온속도로 1차 목표온도인 280 내지 300℃까지 1차승온하는 제1과정;상기 1차목표온도를 1 내지 10분동안 유지하는 제2과정;상기 제2과정 이후 상기 원료분말에 대해 10 내지 80 ℃/min의 승온속도로 2차목표온도인 310 내지 420℃까지 2차승온하는 제3과정;상기 2차목표온도를 1 내지 10분 동안 유지하는 제4과정;상기 제4과정 이후 상기 원료분말에 대해 10 내지 20 ℃/min의 승온속도로 3차목표온도인 430 내지 750℃까지 3차승온하는 제5과정;상기 3차목표온도를 1 내지 10분 동안 유지하는 제6과정;상기 제6과정 이후 상기 원료분말에 대해 30 내지 100 ℃/min의 승온속도로 4차목표온도인 1000 내지 1100℃까지 4차승온하는 제7과정;상기 4차목표온도를 1 내지 10분 동안 유지하는 제8과정; 상기 제8과정 이후 상기 원료분말에 대해 10 내지 20 ℃/min 의 감온속도로 5차목표온도인 600 내지 700℃까지 감온하는 제9과정; 및상기 5차목표온도를 20분동안 유지하는 제10과정;을 포함하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 냉각단계는,상기 성형단계를 거친 후 상기 흑연몰드의 내부를 30 내지 100 MPa의 압력을 유지하면서 600℃까지 냉각시킨 후 600℃ 이하에서는 기본 압력을 유지하면서 상온까지 냉각시키는 것을 특징으로 하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 투입단계는,상기 수용용기 내부에 티타늄 100 중량부 기준 알루미늄 분말 30 내지 70 중량부를 함유하며, 실리콘 분말 3 내지 25 중량부를 함유하며, x계 원소로 Mo, B, W 등 타 원소 분말을 30 중량부 이하로 첨가할 수 있으며, 상기 원료분말과 함께 알코올 또는 아르곤 중 적어도 하나를 함께 투입하여 상기 초경 볼과 상기 원료분말을 혼합시키는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
5 5
제4항에 있어서,상기 분쇄단계는,상기 초경 볼과 상기 원료분말의 중량비율은 10:1 이고,상기 알코올과 상기 원료분말의 중량비율은 2:1이며,230 내지 270RPM의속도로 24시간동안 진행되는 것을 특징으로 하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 분쇄단계를 거친 상기 혼합분말에서 불순물을 제거하며 건조하는 건조단계를 더 포함하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 충진단계는,상기 흑연몰드 내부에 충진된 상기 혼합분말을 별도로 예비 가압하여 내부에서 고르게 분포되도록 하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 진공화단계는,상기 혼합분말의 산화 및 가스나 불순물로 인한 제2상의 형성을 억제하기 위해 6Pa이하로 상기 챔버 내부를 진공화하는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
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제1항에 있어서,상기 흑연몰드는,내부에 상하로 관통되는 관통공간이 형성되고, 길이방향을 따라 상기 혼합분말이 장입되며, 상기 가압부에 의해 상하방향으로 가압되는 PVD 코팅공정용 다성분계 합금타겟 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.