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나노분말로 제조될 물질의 전극을 포함하고 미리 설정된 거리만큼 서로 이격된 복수의 전극; 및상기 복수의 전극 사이에 인가되고 미리 설정된 펄스폭보다 작은 펄스 전압을 발생하는 펄스 발생부를 포함하며,상기 펄스 발생부는 미리 설정된 주파수 이상으로 반복하여 펄스 전압을 발생하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 1에 있어서,상기 미리 설정된 거리를 유지시키기 위한 거리 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 2에 있어서,상기 펄스폭은 상기 복수의 전극 사이에서 절연 파괴가 발생하도록 미리 설정되는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 3에 있어서,상기 펄스폭은 10나노초 이상 500나노초 이하인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 4에 있어서,상기 거리는 생성된 나노분말에 의해 상기 복수의 전극 사이에 전류가 흐르지 못하도록 미리 설정되는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 5에 있어서,상기 거리는 0
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청구항 6에 있어서,상기 펄스 전압은 상기 복수의 전극 사이에서 절연 파괴에 의한 방전을 발생시키도록 설정되는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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8
청구항 7에 있어서,상기 펄스 전압은 1kV 이상 50kV 이하인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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9 |
9
청구항 8에 있어서,상기 펄스 발생부는 복수의 인덕터와 커패시터를 조합하여 형성한 막스 제너레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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10
청구항 9에 있어서,상기 복수의 전극 및 미리 설정된 유체를 내부에 포함하는 챔버부를 더 포함하고,상기 유체는 상기 제조될 나노분말에 따라 설정되는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 10에 있어서,상기 제조될 나노분말은 상기 유체로부터 해리된 탄소가 코팅된 금속 나노분말인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 10에 있어서,상기 제조될 나노분말은 상기 유체로부터 해리된 탄소가 코팅된 실리콘 나노분말인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 10에 있어서,상기 유체는 냉각액인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 13에 있어서,상기 제조될 나노분말은 탄소가 코팅된 금속 나노분말이고,상기 유체는 엔진 오일인 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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청구항 10에 있어서,상기 유체의 성분 또는 이동을 제어하는 유체 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 장치
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나노분말로 제조될 물질의 전극을 포함하는 복수의 전극을 미리 설정된 거리만큼 서로 이격시켜 배치하는 단계;미리 설정된 펄스폭보다 작은 펄스 전압을 미리 설정된 주파수 이상으로 반복하여 발생하는 단계; 및 상기 펄스 전압을 상기 복수의 전극 사이에 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 방법
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청구항 16에 있어서,상기 복수의 전극 사이를 상기 미리 설정된 거리만큼만 이격되도록 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 분말 제조 방법
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청구항 17에 있어서,상기 복수의 전극이 내부에 포함된 챔버 내의 유체의 성분 또는 이동을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노분말 제조 방법
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