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입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자 및 그 제조 방법(THE MAGNETIC FIELD GENERATING ELEMENT HAVING THREE-DIMENSIONAL COIL STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2018004729
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예로써, 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자 및 이러한 소자를 제조하기 위한 방법이 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자는 기판 및 기판 상에 형성된 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠(helmholz) 코일을 포함하고, 기판 상에서 나선형으로 형성된 헬름홀츠 코일에 인가된 전류에 의하여 기판과 평행한 방향으로 자기장이 발생될 수 있다.
Int. CL H01J 37/141 (2006.01.01) H01J 37/26 (2006.01.01)
CPC H01J 37/141(2013.01) H01J 37/141(2013.01) H01J 37/141(2013.01)
출원번호/일자 1020160132405 (2016.10.12)
출원인 한국기계연구원, 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0040449 (2018.04.20) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.12)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최시영 대한민국 경상남도 김해시 가락로***번길
2 김성대 대한민국 부산광역시 북구
3 류정호 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 송 경 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 최홍수 대한민국 대구광역시 달성군 화원읍 비슬로
6 김상원 대한민국 대구광역시 달성군 현풍면

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 피씨알 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***, **층(삼성동, 송암빌딩*)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0990372-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0634344-28
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.07.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0808170-19
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0168688-80
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-0068996-34
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0153537-74
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0153538-19
10 등록결정서
Decision to grant		 2018.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0385893-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.18 수리 (Accepted) 4-1-2018-5260250-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자로서, 기판; 및 상기 기판 상에 형성된 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠(helmholz) 코일을 포함하고, 상기 헬름홀츠 코일의 중단부에는 시편(specimen)이 위치할 수 있고,상기 중단부에 상응하는 상기 기판의 영역에는 전자빔이 투과될 수 있는 적어도 하나의 홀이 형성되고, 상기 홀은 수 마이크로 미터 단위의 크기를 가지며,상기 기판 상에서 나선형으로 형성된 상기 헬름홀츠 코일에 인가된 전류에 의하여 상기 기판과 평행한 방향으로 자기장이 발생되는 것인 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘을 이용하여 제작된 기판이고, 상기 소정의 크기는 마이크로 미터 이하 단위의 크기인 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 기판 상의 상기 홀과 인접한 영역에는 상기 시편을 장착하기 위한 적어도 하나의 폴(pole)이 형성되어 있는 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 홀이 형성된 영역에 상응하는 상기 기판의 후면은 식각된 형태이고,상기 후면은 상기 홀이 형성되기 이전에 소정의 형태로 식각되며, 상기 소정의 형태는 사다리꼴 형태인 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자
6 6
입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자를 제조하기 위한 방법으로서,기판 상에 메탈 박막을 증착하는 단계; 및상기 기판 상에서 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠 코일이 형성되도록 패터닝하는 단계를 포함하고, 상기 증착하는 단계와 상기 패터닝하는 단계가 반복적으로 수행됨으로써 상기 기판 상에서 소정 크기의 선폭을 갖는 나선형의 입체형 헬름홀츠 코일이 형성되며, 상기 헬름홀츠 코일의 중단부에는 시편(specimen)이 위치할 수 있고, 상기 중단부에 상응하는 상기 기판의 영역에 대하여 전자빔이 투과될 수 있는 적어도 하나의 홀을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 홀은 수 마이크로 미터 단위의 크기를 갖는 입체형 코일 구조를 가지며, 상기 기판 상에서 나선형으로 형성된 상기 헬름홀츠 코일에 인가된 전류에 의하여 상기 기판과 평행한 방향으로 자기장이 발생되는 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자를 제조하기 위한 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 기판의 후면 중 일부는 상기 기판 상에 메탈 박막을 증착하는 단계가 수행되기 전에 식각되고, 상기 후면 중 일부는 전자빔이 투과될 상기 기판의 영역인 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자를 제조하기 위한 방법
8 8
삭제
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 기판 상의 상기 홀과 인접한 영역에 대하여 상기 시편을 장착하기 위한 적어도 하나의 폴(pole)을 형성하는 단계를 더 포함하는 입체형 코일 구조를 갖는 자기장 발생 소자를 제조하기 위한 방법
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1 WO2018070635 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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1 미래창조과학부 (재)하이브리드 인터페이스 기반미래소재연구단 글로벌프론티어연구개발사업 다기능성 소재 특성 평가 및 해석 기술 개발