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초음파 세정 장치(APPARATUS OF MEGASONIC CLEANER)

  • 기술번호 : KST2018004736
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전달체를 이용하여 초음파의 음압을 균일하게 세정물질에 전달할 수 있을 뿐만 아니라, 정합층을 이용하여 초음파 전달 능력을 극대화 시켜, 세정 효율을 극대화 시킬 수 있는, 초음파 세정 장치에 관한 것이다.
Int. CL B08B 7/02 (2006.01.01) B08B 7/04 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/463 (2006.01.01)
CPC B08B 7/028(2013.01) B08B 7/028(2013.01) B08B 7/028(2013.01) B08B 7/028(2013.01) B08B 7/028(2013.01)
출원번호/일자 1020160139088 (2016.10.25)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0045224 (2018.05.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.25)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 종로구
4 김상율 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1036301-05
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0664425-12
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1153248-73
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1153183-04
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
6 등록결정서
Decision to grant
2018.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0149376-16
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
내부에 수납부(110), 제1 유통부(130)가 각각 형성되는 유통케이스(100);상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)가 형성되는 수용케이스(200);상기 제1 유통부(130)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)로 세정물질을 공급하는 컴팩트유닛(300);상기 수납부(110)에 위치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 인가하는 초음파발생장치(410)와, 상기 초음파발생장치(410)의 하측에 밀착 결합되며 상기 제1 수용부(220)로 초음파를 전달하는 전달체(420)를 포함하는 초음파 인가부(400); 및상기 제 1 수용부(220)의 하단에 결합되며 상기 제1 수용부(220)에 위치된 세정물질을 피세정물로 분출하는 다수의 분출홀(620)이 형성된 다공성나노구조체(600); 를 포함하되,상기 전달체(420)는 상하 높이방향 길이가 좌우 및 전후 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
3 3
내부에 수납부(110), 제1 유통부(130)가 각각 형성되는 유통케이스(100);상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)가 형성되는 수용케이스(200);상기 제1 유통부(130)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)로 세정물질을 공급하는 컴팩트유닛(300);상기 수납부(110)에 위치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 인가하는 초음파발생장치(410)와, 상기 초음파발생장치(410)의 하측에 밀착 결합되며 상기 제1 수용부(220)로 초음파를 전달하는 전달체(420)를 포함하는 초음파 인가부(400); 및상기 제 1 수용부(220)의 하단에 결합되며 상기 제1 수용부(220)에 위치된 세정물질을 피세정물로 분출하는 다수의 분출홀(620)이 형성된 다공성나노구조체(600); 를 포함하되,상면이 상기 전달체(420)의 하측에 결합되며 하측이 상기 제1 수용부(220)까지 연장 형성되는 정합층(700)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
4 4
내부에 수납부(110), 제1 유통부(130)가 각각 형성되는 유통케이스(100);상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)가 형성되는 수용케이스(200);상기 제1 유통부(130)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)로 세정물질을 공급하는 컴팩트유닛(300);상기 수납부(110)에 위치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 인가하는 초음파발생장치(410)와, 상기 초음파발생장치(410)의 하측에 밀착 결합되며 상기 제1 수용부(220)로 초음파를 전달하는 전달체(420)를 포함하는 초음파 인가부(400); 및상기 제 1 수용부(220)의 하단에 결합되며 상기 제1 수용부(220)에 위치된 세정물질을 피세정물로 분출하는 다수의 분출홀(620)이 형성된 다공성나노구조체(600); 를 포함하되,상기 컴팩트유닛(300)은 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하는 액체공급관(310)과, 제1 수용부(220)로 기체를 공급하는 기체공급관(320)과, 상기 기체공급관(320)에서 상기 제1 수용부(220)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제 4항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)의 공간을 초과하는 액상의 세정물질을 배출하기 위한 액체배출관(340)과, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(350)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제 5항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 액체공급관(310)과, 기체공급관(320)과, 액체배출관(340)과, 기체배출관(350)이 서로 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제 6항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체배출관(340)의 내부에 상기 액체공급관(310)이 삽입되고, 상기 기체배출관(350)의 내부에 상기 기체공급관(320)이 삽입되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
8 8
제 6항에 있어서, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체공급관(310), 기체공급관(320), 액체배출관(340), 기체배출관(350)이 내부에 일정간격 이격 삽입되는 통합관(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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제 3항에 있어서, 상기 정합층(700)은 음향 임피던스값이 상기 전달체(420) 보다 낮고 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질보다 높거나 같은 매질인 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치
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내부에 수납부(110), 제1 유통부(130)가 각각 형성되는 유통케이스(100);상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)가 형성되는 수용케이스(200);상기 제1 유통부(130)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)로 세정물질을 공급하는 컴팩트유닛(300);상기 수납부(110)에 위치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 인가하는 초음파발생장치(410)와, 상기 초음파발생장치(410)의 하측에 밀착 결합되며 상기 제1 수용부(220)로 초음파를 전달하는 전달체(420)를 포함하는 초음파 인가부(400); 및상기 제 1 수용부(220)의 하단에 결합되며 상기 제1 수용부(220)에 위치된 세정물질을 피세정물로 분출하는 다수의 분출홀(620)이 형성된 다공성나노구조체(600); 를 포함하되,상기 유통케이스(100)에 형성되는 제2 유통부(120)와, 상기 수용케이스(200)에 형성되며 상기 제2 유통부(120)의 하단과 연통되는 제2 수용부(210)와, 상기 제2 수용부(210)에 위치된 세정액을 피세정물로 안내하는 분사부(610)를 더 포함하는, 초음파 세정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.