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웨이퍼 파손 방지용 카세트(Cassette for preventing broken of wafer)

  • 기술번호 : KST2018004748
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 파손 방지용 카세트에 관한 것으로서, 바닥면에서 표면으로 발생되는 스트레스가 전체로 분산되도록 하여 마찰진동을 감소시키는 마찰진동 감소유닛; 및 웨이퍼들이 끼워지는 다수의 슬롯을 구비하며, 상기 마찰진동 감소유닛의 경사벽체 상에 경사지게 배치되는 웨이퍼 적재용 경사유닛을 포함한다.
Int. CL H01L 21/673 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67369(2013.01) H01L 21/67369(2013.01) H01L 21/67369(2013.01) H01L 21/67369(2013.01)
출원번호/일자 1020160137328 (2016.10.21)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0043919 (2018.05.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 우태규 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 하민철 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인메이저 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층(역삼동, 쓰리엠타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-1022686-84
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1036527-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0033826-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0727893-77
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-1264557-46
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1264558-92
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0170056-15
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.04.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0349158-69
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0267317-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
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번호 청구항
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바닥면에서 표면으로 발생되는 스트레스가 전체로 분산되도록 하여 마찰진동을 감소시키는 마찰진동 감소유닛; 및웨이퍼들이 끼워지는 다수의 슬롯을 구비하고, 상기 마찰진동 감소유닛 상에 경사지게 배치되는 웨이퍼 적재용 경사유닛; 을 포함하되, 상기 마찰진동 감소유닛은, 상기 바닥면의 일측에 경사지게 지지되는 제1 경사형 브리지;상기 제1 경사형 브리지의 반대편에서 상기 바닥면의 타측에 경사지게 지지되는 제2 경사형 브리지;상기 제1 경사형 브리지와 상기 제2 경사형 브리지를 연결하고, 상부에는 상기 웨이퍼 적재용 경사유닛이 안착되되, 상부에 안착된 상기 웨이퍼 적재용 경사유닛이 상기 제1 경사형 브리지에서 상기 제2 경사형 브리지 방향으로 상향 경사지도록 상기 제1 경사형 브리지에서 상기 제2 경사형 브리지 방향으로 경사 배치된 경사 벽체; 및상기 제1 경사형 브리지의 상단으로부터 상기 바닥면 방향으로 경사지게 배치되도록 일측이 상기 제1 경사형 브리지의 상단과 연결되고 타측이 상기 경사 벽체의 일측에 연결되어 상기 경사 벽체의 상부에 상기 제1 경사형 브리지 방향으로 기울어진 상기 웨이퍼 적재용 경사유닛의 일측을 지지하되, 상기 경사 벽체와 연결된 타측이 상기 바닥면으로부터 이격 배치된 지지겸용 연결벽체; 를 포함하고상기 마찰진동 감소유닛의 하부에 배치되어 상기 마찰진동 감소유닛을 지지하는 서포팅 베이스를 포함하며,상기 서포팅 베이스는 상기 제1 및 제2 경사형 브리지 간의 간격에 맞게 길이가 가변되되, 베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트의 일측 단부에서 돌출되게 마련되며, 내부에 제1 삽입부가 형성되는 제1 돌출리브; 및상기 베이스 플레이트의 타측 단부에서 돌출되게 마련되며, 내부에 제2 삽입부가 형성되는 제2 돌출리브를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 파손 방지용 카세트
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제7항에 있어서,상기 제1 경사형 브리지와 상기 제2 경사형 브리지의 단부에는 상기 제1 삽입부와 상기 제2 삽입부에 착탈 가능하게 결합되는 제1 및 제2 착탈 결합부가 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 파손 방지용 카세트
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.