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인듐 전구체 및 티타늄 전구체 혼합용액을 알칼리 처리하여 제조하는 복합금속 산화물의 제조단계; 상기 복합금속 수산화물을 예비 소성하여 복합금속 산화물을 제조하는 산화단계; 얻어진 복합금속 산화물 분말을 포트에 넣고, 습식 볼밀 및 분쇄하며, 분쇄 시 바인더를 첨가하는 분쇄 및 혼합단계; 및 상기 예비 소성된 복합금속 산화물을 소결하여 금속 산화물 소결체를 제조하는 단계;를 포함하는 스퍼터링 타겟 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 산화단계는 180 내지 280 ℃에서 수행되는 스퍼터링 타겟 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 산화물 소결체를 제조하는 단계에서 소결은 1250 내지 1600 ℃에서 수행되는 스퍼터링 타겟 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 복합금속 산화물은 산화인듐 50~99
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제 1항에 있어서,상가 복합금속 수산화물은 인듐, 티타늄 및 주석, 아연, 갈륨 및 안티몬에서 선택되는 하나 이상의 금속을 더 포함하는 스퍼터링 타겟 제조방법
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제 1항 내지 제 5항에서 선택되는 어느 한 항의 스퍼터링 타겟을 증착하여 증착막이 형성된 기재를 형성하는 단계; 및상기 증착막이 형성된 기재를 열처리하는 열처리 단계;를 포함하는 투명 도전막의 제조방법
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제 6항의 제조방법으로 제조되며, 1200 내지 2500 ㎚의 파장 영역에서 광 투과율이 85% 이상인 태양전지용 투명 도전막
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제 7항에 있어서, 상기 투명도전막은 전하이동도가 70 ~ 100 cm2/V·s이며 캐리어농도가 1x1020~ 4x1020 cm-3인 것을 특징으로 하는 투명도전막
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제 7항에 있어서, 상기 투명도전막은 50 내지 300 ℃의 저온 열처리를 하기 전에도 결정성을 가지며 상기 저온 열처리 후에는 결정성이 증대되는 것을 특징으로 하는 투명도전막
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