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반도체로 이루어진 기판;상기 기판의 전면에 형성된 전하 선택형 에미터층; 및상기 기판의 후면에 형성된 전하 선택형 전계층을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
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청구항 1에 있어서, 상기 기판은 n형 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 태양전지
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청구항 2에 있어서, 상기 전하 선택형 에미터층은 SiO2와 p+ 도핑된 폴리실리콘 박막의 적층 구조이고, 상기 전하 선택형 전계층은 SiO2와 n+ 도핑된 폴리실리콘 박막의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 태양전지
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청구항 2에 있어서, 상기 전하 선택형 에미터층은 이종접합 에미터이고,상기 전하 선택형 전계층은 SiO2와 n+ 도핑된 폴리실리콘 박막의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 태양전지
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청구항 4에 있어서, 상기 이종접합 에미터는 P 타입이고 상기 기판에 비해 넓은 밴드 갭(Eg)을 가지는 물질인 것을 특징으로 하는 태양전지
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6
청구항 2에 있어서, 상기 전하 선택형 에미터층은 실리콘에 비해 높은 일함수를 가지는 전이금속 산화물이고,상기 전하 선택형 전계층은 SiO2와 n+ 도핑된 폴리실리콘 박막의 적층 구조인 것을 특징으로 하는 태양전지
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7
청구항 6에 있어서, 상기 전이금속 산화물은 V2OX, MOOX를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
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8
청구항 7에 있어서, 상기 전이금속 산화물의 상부에 전기전도도를 보완하기 위한 투명전극이 적층되는 것을 특징으로 하는 태양전지
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9
청구항 8에 있어서, 상기 투명전극은 ITO 또는 ZnO인 것을 특징으로 하는 태양전지
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반도체로 이루어진 기판을 준비하는 단계;상기 기판의 전면에 전하 선택형 에미터층을 형성하는 단계; 및상기 기판의 후면에 전하 선택형 전계층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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11
청구항 10에 있어서, 상기 기판은 n형 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 기판의 전면에 전하 선택형 에미터층을 형성하는 단계는, 열처리, 습식공정, 스퍼터, CVD법 중 어느 하나의 방법으로 상기 기판의 전면에 SiO2 박막을 성장시키는 단계; 및상기 SiO2 박막의 상부에 p+ 도핑한 폴리실리콘 박막을 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 기판의 전면에 전하 선택형 에미터층을 형성하는 단계는, 수소화된 비정질 실리콘, 도핑한 미세결정질 실리콘 화합물, 도핑한 미세결정질 실리콘-탄소 합금 중 선택된 1종 이상을 스퍼터, CVD법 중 어느 하나의 방법으로 상기 기판의 전면에 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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14
청구항 11에 있어서, 상기 기판의 전면에 전하 선택형 에미터층을 형성하는 단계는, V2OX, MOOX 중 선택된 1종의 전이금속 산화물을 증발법, 스퍼터 중 어느 하나의 방법으로 상기 기판의 전면에 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 14에 있어서, 상기 전이금속 산화물의 상부에 전기전도도를 보완하기 위한 투명전극을 적층하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 14에 있어서, 상기 투명전극은 ITO 또는 ZnO인 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 기판의 후면에 전하 선택형 전계층을 형성하는 단계는,열처리, 습식공정, 스퍼터, CVD법 중 어느 하나의 방법으로 상기 기판의 후면에 SiO2 박막을 성장시키는 단계; 및상기 SiO2 박막의 하부에 n+ 도핑한 폴리실리콘 박막을 적층시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 17에 있어서, 상기 n+ 도핑한 폴리실리콘 박막을 적층시키는 단계는,상기 SiO2 박막의 하부에 비정질 실리콘 또는 미세결정질 실리콘 박막을 적층시키는 단계 후,상기 기판의 온도 600℃ 이상에서 열처리하여 상기 비정질 실리콘 또는 미세결정질 실리콘 박막을 n+ 도핑한 폴리실리콘 박막으로 재결정화를 유도하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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청구항 11에 있어서, 상기 전하 선택형 에미터층을 형성하는 단계와 상기 전하 선택형 전계층을 형성하는 단계 후, 표면 재결합 저감을 위해 수소 플라즈마 처리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조방법
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