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베이스;상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 구동하는 작동모듈;상기 베이스의 타공부에 인입하여 설치되고, 상기 베이스의 반력에 의해 발생되는 진동에 대응하여 반력을 보상하는 반력보상모듈; 및상기 반력보상모듈의 반력 보상 방향 또는 강도를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 반력보상모듈은 고정지지부, 상기 고정지지부에 고정되게 설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 연결되어 한 방향으로 직선운동하는 운동부재 및 상기 고정부재와 상기 운동부재를 연결하며 탄성을 가지는 가이드부재를 구비하는 유연가이드기구, 상기 베이스의 반력을 제거할 수 있는 힘을 생성하고 상기 유연가이드기구의 상기 운동부재와 결합하는 구동부를 구비하며,상기 구동부에 결합한 상기 운동부재가 상기 구동부의 구동으로 직선 왕복운동을 수행하는 경우, 상기 가이드부재는 스윙(swing) 운동을 수행하여 상기 운동부재를 종속시켜, 상기 운동부재가 한 방향으로 직선 왕복운동함으로써, 상기 유연가이드기구는 상기 구동부가 한 방향으로 직선운동하도록 가이드하는 기능을 수행하고,상기 가이드부재는, 상기 가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 H자형, T자형 또는 I자형인 빔의 형상 또는, 상기 가이드부재의 길이 방향에 수직인 단면이 원형 또는 다각형인 파이프의 형상이므로, 상기 가이드부재의 내구성이 향상되거나,또는, 상기 가이드부재는, 일부위가 물결 형상 또는 반복적으로 꺽인 형상을 구비하여 상기 가이드부재의 내구성이 향상되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서,지면과 접촉하는 베이스지지부, 및상기 베이스의 하부면과 상기 베이스지지부의 상부면에 결합하여 상기 베이스와 상기 베이스지지부를 연결하는 마운트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 2에 있어서,상기 고정지지부는, 상기 베이스지지부와 결합하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서,상기 유연가이드기구는 철(Fe), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서, 상기 구동부가 복수 개 구비되고, 상기 구동부에서 발생하는 힘의 방향은 상기 작동모듈이 생성하는 반력의 방향에 대해 수직 또는 수평인 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서, 상기 베이스의 타공부 중심은, 상기 베이스의 중심과 일치하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서,상기 작동모듈은,상기 베이스의 상부면에 대해 수평으로 직선 왕복운동하는 제1작동부 및상기 베이스의 상부면에 대해 수평 또는 수직으로 직선 왕복운동하는 제2작동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1에 있어서,상기 제어부는, 상기 베이스의 초기 진동에 대응되게 상기 반력보상모듈을 구동시키는 제1제어신호 또는 상기 베이스의 작동 중 진동에 대응되게 상기 반력보상모듈을 구동시키는 제2제어신호를 상기 반력보상모듈로 전달하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 9에 있어서,상기 베이스의 진동을 센싱하는 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 10에 있어서,상기 제1제어신호는 상기 제어부에 미리 저장된 진동정보를 분석하여 생성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 10에 있어서,상기 제2제어신호는 상기 센서부에 의해 센싱된 진동을 분석하여 생성되는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비
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청구항 1의 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비를 이용한 진동 제어방법에 있어서,i) 상기 작동모듈이 작동을 시작하여 상기 베이스의 반력이 생성되는 단계;ii) 상기 제어부에 미리 저장된 진동정보를 분석하여 생성되는 제1제어신호가 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 전달되는 단계; 및iii) 상기 구동부가 구동하여, 상기 반력보상모듈이 상기 베이스의 반력을 제거할 수 있는 힘을 상기 베이스로 전달하는 단계;를 포함하고,상기 유연가이드기구는 상기 구동부가 한 방향으로 직선운동하도록 가이드하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비를 이용한 진동 제어방법
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청구항 1의 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비를 이용한 진동 제어방법에 있어서,i) 상기 작동모듈의 작동 중 상기 베이스의 반력이 생성되는 단계;ii) 센서부에 의해 센싱된 진동을 분석하여 생성되는 제2제어신호가 상기 제어부로부터 상기 반력보상모듈로 전달되는 단계; 및iii) 상기 구동부가 구동하여, 상기 반력보상모듈이 상기 베이스의 반력을 제거할 수 있는 힘을 상기 베이스로 전달하는 단계;를 포함하고,상기 유연가이드기구는 상기 구동부가 한 방향으로 직선운동하도록 가이드하는 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비를 이용한 진동 제어방법
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청구항 1 내지 청구항 4 및 청구항 6 내지 청구항 12 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 유연가이드기구가 적용된 반력보상모듈을 갖는 생산장비를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산 가공 시스템
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