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온도 및 임피던스 통합 센서(Temperature and impedance integrated sensors)

  • 기술번호 : KST2018005294
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판; 상기 기판 위에 형성된 온도센서; 상기 온도센서 위에 형성된 절연층; 및 상기 절연층 위에 형성된 임피던스센서;를 포함하는 온도 및 임피던스 통합 센서를 제공한다. 상기 센서는 온도와 임피던스 변화의 동시적인 모니터링이 가능한 특징을 갖는다.
Int. CL G01N 27/02 (2006.01.01) G01D 21/02 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/108 (2006.01.01)
CPC G01N 27/02(2013.01) G01N 27/02(2013.01) G01N 27/02(2013.01) G01N 27/02(2013.01)
출원번호/일자 1020160137639 (2016.10.21)
출원인 한림대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0044049 (2018.05.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020180099259;
심사청구여부/일자 Y (2016.10.21)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한림대학교 산학협력단 대한민국 강원도 춘천시 한림

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장문규 대한민국 대전광역시 유성구
2 임경석 대한민국 경기도 구리시
3 신혜선 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남혁 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***, *층 (대치동, 세원빌딩)(국제특허본)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2016-1025108-31
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-1041826-70
3 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2016.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0156711-51
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2016-5194076-39
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0038281-80
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0895250-81
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0163785-69
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0163807-86
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.06 수리 (Accepted) 4-1-2018-5038639-99
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0432245-16
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.07.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0730179-55
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0730170-45
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0543985-43
15 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0841508-54
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 형성된 온도센서;상기 온도센서 위에 형성된 절연층; 및상기 절연층 위에 형성된 임피던스센서;를 포함하는 온도 및 임피던스 통합 센서
2 2
제 1항에 있어서,상기 온도센서는 박막형 RTDs(Resistance temperature detectors)인 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
3 3
제 2항에 있어서,상기 임피던스센서는 박막형 임피던스센서인 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
4 4
제 3항에 있어서,상기 절연층은 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성된 박막인 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
5 5
제 3항에 있어서,상기 절연층은 SiO2로 형성된 박막인 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
6 6
제 1항에 있어서,상기 온도센서 및 임피던스센서의 전극은 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 알루미늄, 니켈-구리(Ni-Cu) 합금, 니켈-철(Ni-Fe) 합금, 및 니켈-크롬(Ni-Cr) 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
7 7
제 6항에 있어서,상기 온도센서 및 임피던스센서의 전극은 백금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
8 8
기판;상기 기판 위에 형성된 온도센서;상기 온도센서 위에 형성된 절연층; 및상기 절연층 위에 형성된 임피던스센서를 포함하며,상기 임피던스센서의 위에는 시료가 임피던스센서의 감지부 밖으로 퍼지는 것을 방지하는 시료 퍼짐 방지벽이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
9 9
제 8항에 있어서,상기 시료 퍼짐 방지벽은 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성된 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
10 10
제 9항에 있어서,상기 온도센서는 박막형 RTDs(Resistance temperature detectors)이고,상기 임피던스센서는 박막형 임피던스센서이며,상기 절연층은 PDMS(polydimethylsiloxane) 또는 SiO2로 형성된 박막인 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
11 11
제 8항에 있어서,상기 시료 퍼짐 방지벽은 원통형 관 또는 다각형 관 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 온도 및 임피던스 통합 센서
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101991120 KR 대한민국 FAMILY
2 KR1020180097495 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한림대학교 산학협력단 기초연구실지원사업 3D 프린팅 방법을 이용한 실시간 모니터링이 가능한 휴먼온어칩 기술 개발