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고감도 전자센서용 트랜지스터(Transistor for high sensitivity electronic sensor and manufacturing method thereof)

  • 기술번호 : KST2018005362
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판과 반도체 접합면에 존재하는 공핍층에서 확산전류가 흐르는 원리를 이용하여 센서의 기능에 따라서 요구되는 다양한 패턴 제작이 가능한 고감도 전자센서용 트랜지스터 구조에 관한 것으로서, 기판; 상기 기판 위에 형성되는 게이트 전극; 상기 기판과 상기 게이트 전극 위에 형성되는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 서로 이격하여 형성되는 소스 전극부; 및 드레인 전극부;를 포함하고, 상기 소스 전극부와 드레인 전극부는, 상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극 좌우에 배치되는 소스 대표전극 및 드레인 대표전극과, 상기 소스 대표전극 및 드레인 대표전극 사이에 복수개의 소스 서브전극과 드레인 서브전극을 배열한 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터를 제공한다.
Int. CL H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 21/8234 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01)
CPC H01L 29/4234(2013.01) H01L 29/4234(2013.01) H01L 29/4234(2013.01) H01L 29/4234(2013.01) H01L 29/4234(2013.01) H01L 29/4234(2013.01)
출원번호/일자 1020160142352 (2016.10.28)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0046772 (2018.05.09) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.28)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오데레사 대한민국 충청북도 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 추혁 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***-** 효성아이씨티타워 ****호(지엠국제특허)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1055327-71
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-1064358-97
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2017-0008377-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5054173-55
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0815688-11
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0071339-39
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0181232-55
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0181288-01
10 등록결정서
Decision to grant
2018.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0494768-14
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번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판 위에 형성되는 게이트 전극; 상기 기판과 상기 게이트 전극 위에 형성되는 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 서로 이격하여 형성되는 소스 전극부; 및 드레인 전극부;를 포함하고,상기 소스 전극부와 드레인 전극부는,상기 게이트 절연막 위로 상기 게이트 전극 좌우에 배치되는 소스 대표전극 및 드레인 대표전극과,상기 소스 대표전극 및 드레인 대표전극 사이에 복수개의 소스 서브전극과 드레인 서브전극을 배열한 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
2 2
제 1항에 있어서, 상기 복수개의 소스 서브전극과 드레인 서브전극이 상기 소스 대표전극 및 드레인 대표전극 사이에 소스 서브전극, 드레인 서브전극이 서로 이격하여 배열되되, 복수개의 소스 서브전극과 드레인 서브전극이 번갈아가며 반복하여 직렬패턴을 형성하며 배치된 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
3 3
제 1항에 있어서, 상기 복수개의 소스 서브전극이 서로 이격되어 상기 소스 대표전극에 병렬로 배열되고, 상기 복수개의 드레인 서브전극이 서로 이격되어 상기 드레인 대표전극에 병렬로 배열되며, 상기 병렬로 배열된 복수의 소스 서브전극 및 복수의 드레인 서브전극이 서로 이격하여 대칭으로 병렬패턴을 형성하며 배치된 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
4 4
제 1항에 있어서, 상기 복수개의 소스 서브전극이 서로 이격되어 상기 소스 대표전극에 병렬로 배열되고, 상기 복수개의 드레인 서브전극이 서로 이격되어 상기 드레인 대표전극에 병렬로 배열되되, 상기 병렬로 배열된 복수의 소스 서브전극 및 복수의 드레인 서브전극이 번갈아가며 반복하여 직렬패턴을 형성하도록 서로 이격된 공간에 삽입되어 헤어콤패턴을 형성하며 배치된 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
5 5
제 1항에 있어서, 상기 기판은,규소(Si), 유리, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephthalate), 폴리에틸렌 나프탈레이트(Polyethylene naphtalate), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌 술폰산염(Polyethylene sulfonate), 아릴라이트(Arylite), 폴리이미드(Polyimide), 폴리노르보넨(Polynorbonene) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
6 6
제 1항에 있어서, 상기 게이트 전극은,알루미늄(Al), 나노와이어, 그래핀, ITO, 투명전도성 산화물(TCO)기반 투명전극, AZO, ZTO, IGZO, ZITO, SiZO, 하이브리드(복합소재) 투명전극, CNT 기반 투명전극 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
7 7
제 1항에 있어서, 상기 게이트 절연막의 허용 누설전류의 범위는 10-14 - 10-10 A인 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
8 8
제 1항에 있어서,상기 드레인 전극의 바이어스는 10-4 - 1V 범위의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 고감도 전자센서용 트랜지스터
9 9
제 1항에 있어서,상기 게이트 절연막의 허용 유전상수는 0
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1 WO2018079950 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 청주대학교 개인연구지원 초고속 터널링트랜지스터를 이용한 투명바이오센서