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고경도 PTFE코팅막 및 상기 PTFE코팅막 제조방법(Hard PTFE coating layer and Hard PTFE coating method)

  • 기술번호 : KST2018005516
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PTFE코팅막 및 코팅방법에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 고경도, 발수성, 고투과도 및 고밀착력 특성을 갖는 PTFE코팅막 및 상기 PTFE코팅막 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL C09D 5/16 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C09D 127/18 (2006.01.01)
CPC C09D 5/1668(2013.01) C09D 5/1668(2013.01) C09D 5/1668(2013.01) C09D 5/1668(2013.01)
출원번호/일자 1020160143014 (2016.10.31)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0047182 (2018.05.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020180129352;
심사청구여부/일자 Y (2016.10.31)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천광역시 계양구
2 임성철 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-1058811-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0181330-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0879207-52
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0112486-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2018-0112485-93
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0318359-60
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0679465-77
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0694229-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0694230-52
12 등록결정서
Decision to grant		 2018.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0675285-19
13 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2018.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1062738-66
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번호 청구항
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챔버 내의 기판지그 상에 준비된 모재를 배치하고, 타겟홀더에 타겟물질인 PTFE를 배치하는 배치단계;상기 챔버 내부가 진공상태가 되도록 처리하는 진공처리단계;상기 챔버 내부에 공정가스를 주입한 후 공정압력을 설정하는 공정압력설정단계; 및 상기 타겟홀더에 RF 타겟파워를 인가하는 동시에 상기 기판지그에 20 내지 500W 범위의 RF 바이어스 파워를 인가하여 -50 내지 -1000범위의 셀프 바이어스 전압이 상기 기판지그에 형성되도록 한 다음, 상기 셀프바이어스 전압이 형성된 상태에서 일정시간 유지하여 상기 모재 표면에 PTFE코팅막을 형성하는 코팅막형성단계;를 포함하는데, 상기 PTFE코팅막은 2-5nm크기의 결정입자가 분포된 층구조를 포함하고, 경도가 Hv 500이상이며, 마찰계수가 0
8 8
제 7 항에 있어서,상기 PTFE코팅막이 형성된 모재를 공기 중에 일정시간 방치하는 방치단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
9 9
제 7 항에 있어서,상기 진공처리단계는 상기 챔버의 압력이 1×10-4 내지 5×10-5 Torr 범위가 될 때까지 수행되는 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 공정압력설정단계에서 주입되는 공정가스는 Ar이고, 상기 공정압력은 0
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제 7 항에 있어서,상기 코팅막형성단계에서 상기 타겟홀더에 인가되는 타겟파워는 20 내지 300W이고, 상기 일정시간은 30분이상인 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
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제 10 항에 있어서,상기 코팅막형성단계에서 코팅공정이 수행되는 일정시간의 최초 1/2이하의 공정시간은 상기 공정압력범위의 중간값 보다 낮은 공정압력을 유지하고, 나머지 공정시간은 높은 공정압력을 유지하는 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 셀프바이어스전압은 상기 기판지그 면적의 4승에 반비례하는 관계인 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 모재는 코팅전 전처리공정을 통해 표면처리된 것을 특징으로 하는 PTFE코팅막 제조방법
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제 7 항 내지 제 10 항, 제 12 항 내지 제 15 항 중 어느 하나의 코팅방법으로 코팅된 PTFE 코팅막이 표면에 형성되는데, 상기 PTFE코팅막은 Hv 500이상의 경도, 95%이상의 광투과도, 100°이상의 물과의 접촉각, 0
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제 16 항에 있어서,상기 제품은 내구성, 내스크래치성, 발수성 및 방오성 중 하나 이상의 특성을 나타내는 것을 특징으로 하는 제품
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1 KR1020180118592 KR 대한민국 FAMILY

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