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측정 대상인 기판의 종류와 이차원 물질인 시료의 종류에 대한 정보를 입력받고, 상기 시료의 광학상수를 이용하여 상기 시료의 각 층수에서의 파장에 따른 제1 옵티컬 콘트라스트를 계산하는 제어부; 및여러 파장 성분을 갖는 백색광을 조사하고, CCD(Charge Coupled Device)를 통해 상기 조사된 빛의 반사에 의한 광학적 간섭현상을 이용하여 옵티컬 콘트라스트(optical contrast)가 증가된 이미지를 얻으며, 소프트웨어를 통해 상기 이미지로부터 R, G, B 성분 값을 획득하되, 기판만 있을 때의 광학 이미지와 상기 시료의 광학 이미지를 측정하는 광학 현미경부;를 포함하고,상기 제어부는 상기 광학 현미경부에 의해 측정된 기판과 시료의 광학 이미지를 R, G, B 성분으로 분리하여 각 R, G, B 성분의 시료와 기판과의 차이를 통해 제2 옵티컬 콘트라스트를 계산하고, R, G, B 성분의 콘트라스트 값과 이차원 물질의 층수를 매핑하여 미리 저장된 매핑 테이블을 이용하여 상기 제2 옵티컬 콘트라스트를 상기 제1 옵티컬 콘트라스트와 비교함으로써, 비교 결과에 따라 상기 측정된 시료의 층수를 산출하는, 이차원 물질의 두께 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 제2 옵티컬 콘트라스트는, (R, G, B는 상기 시료의 R, G, B 성분, R0, G0, B0는 상기 기판의 R, G, B 성분)으로 산출되는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 두께 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 기판과 시료의 광학 이미지의 차이를 통해 RMS(Root Means Square) 값을 구하여 상기 제2 옵티컬 콘트라스트를 계산하는, 이차원 물질의 두께 측정 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 광학 현미경부는,상기 시료를 장착하는 회전 스테이지를 포함하고,상기 제어부는 상기 시료의 사이즈를 고려하여 상기 광학 현미경의 화각에 해당하는 만큼 상기 회전 스테이지를 x, y축 방향으로 움직이면서 반복적으로 광학 이미지를 측정하며, 상기 각 광학 이미지에 층수를 나타내어 상기 시료에서의 층수 지도를 만드는, 이차원 물질의 두께 측정 시스템
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제 4 항에 있어서,상기 제어부는,사용자가 알고자 하는 층수와 시료의 사이즈를 입력하면, 상기 층수 지도를 이용하여 상기 입력된 층수와 사이즈에 맞는 상기 시료의 위치를 좌표로 정리하여 나타내는, 이차원 물질의 두께 측정 시스템
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측정 대상인 기판의 종류와 이차원 물질인 시료의 종류에 대한 정보를 입력받고, 상기 시료의 광학상수를 이용하여 상기 시료의 각 층수에서의 파장에 따른 제1 옵티컬 콘트라스트를 계산하는 단계;여러 파장 성분을 갖는 백색광을 조사하고, 광학 현미경의 CCD(Charge Coupled Device)를 통해 상기 조사된 빛의 반사에 의한 광학적 간섭현상을 이용하여 옵티컬 콘트라스트(optical contrast)가 증가된 이미지를 얻으며, 소프트웨어를 통해 상기 이미지로부터 R, G, B 성분 값을 획득하되, 기판만 있을 때의 광학 이미지와 상기 시료의 광학 이미지를 측정하는 단계;상기 광학 현미경에 의해 측정된 기판과 시료의 광학 이미지를 R, G, B 성분으로 분리하여 각 R, G, B 성분의 시료와 기판과의 차이를 통해 제2 옵티컬 콘트라스트를 계산하는 단계; 및R, G, B 성분의 콘트라스트 값과 이차원 물질의 층수를 매핑하여 미리 저장된 매핑 테이블을 이용하여 상기 제2 옵티컬 콘트라스트를 상기 제1 옵티컬 콘트라스트와 비교함으로써, 비교 결과에 따라 상기 측정된 시료의 층수를 산출하는 단계;를 포함하는, 이차원 물질의 두께 측정 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제2 옵티컬 콘트라스트는, (R, G, B는 상기 시료의 R, G, B 성분, R0, G0, B0는 상기 기판의 R, G, B 성분)으로 산출되는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 두께 측정 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제2 옵티컬 콘트라스트를 계산하는 단계는,상기 기판과 시료의 광학 이미지의 차이를 통해 RMS(Root Means Square) 값을 구하는, 이차원 물질의 두께 측정 방법
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9
제 6 항에 있어서,상기 시료의 사이즈를 고려하여 상기 광학 현미경의 화각에 해당하는 만큼 상기 시료를 장착하는 회전 스테이지를 x, y축 방향으로 움직이면서 반복적으로 광학 이미지를 측정하는 단계; 및상기 각 광학 이미지에 층수를 나타내어 상기 시료에서의 층수 지도를 생성하여 저장하는 단계;를 더 포함하는, 이차원 물질의 두께 측정 방법
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제 9 항에 있어서,사용자로부터 알고자 하는 층수와 시료의 사이즈를 입력받는 단계; 및상기 층수 지도를 이용하여 상기 입력된 층수와 사이즈에 맞는 상기 시료의 위치를 좌표로 정리하여 나타내는 단계;를 더 포함하는, 이차원 물질의 두께 측정 방법
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제 6 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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