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산란광 검출모듈 및 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치(SCATTEED LIGHT DETECTING MODULE AND HIGH RESOLUTION DETECTING APPARATUS USING TERAHERTZ BESSEL BEAM)

기술번호 : KST2018005557
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	발명의 일실시에 따른 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치는 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부와, 상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과하면서 발산되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈와, 상기 제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출기로 집광시키는 제 2 렌즈; 및 상기 제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함한다.
Int. CL	G01N 21/3581 (2014.01.01) G01V 8/10 (2006.01.01) G01J 3/42 (2006.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01)
CPC	G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01)
출원번호/일자	1020160144582 (2016.11.01)
출원인	한국식품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2018-0047827 (2018.05.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	공개
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	N
심사청구항수	21

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국식품연구원	대한민국	전라북도 완주군

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	옥경식	대한민국	경기도 오산시 여계산로 , *
2	최성욱	대한민국	전라북도 완주군
3	장현주	대한민국	서울특별시 송파구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	전수진	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)
2	특허법인태하	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)
3	김종승	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)
4	윤정호	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2016.11.01	수리 (Accepted)	1-1-2016-1067526-86
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2017-5155082-90
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.07.08	수리 (Accepted)	4-1-2019-5135028-45
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.02	수리 (Accepted)	4-1-2019-5176835-79
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2020-5030341-61
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.04	수리 (Accepted)	4-1-2020-5124131-17
7	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2020.06.17	수리 (Accepted)	1-1-2020-0621028-05
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.09.08	수리 (Accepted)	4-1-2020-5203003-57

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부;상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 테라헤르츠파 베셀빔을 생성하는 베셀빔 형성부;상기 테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 형성부; 상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부; 및상기 검사 대상 물체를 투과한 링빔을 검출하는 링빔 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 링빔 형성부는,링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 제 1 렌즈를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
3	3 제 2 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 제 1 렌즈의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
4	4 제 3 항에 있어서,상기 반사 산란광 검출부는,상기 제 1 렌즈로부터 출사되는 링빔의 내부에 구비되는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
5	5 제 2 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 검사 대상 물체로부터 투과되는 산란광을 검출하는 투과 산란광 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
6	6 제 5 항에 있어서,상기 투과 산란광 검출부는,상기 제 1 렌즈로부터 입사되는 링빔의 내부에 배치되는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
7	7 제 2 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광의 경로를 변경하는 경로 변경부를 포함하고,상기 반사 산란광 검출부는,상기 경로 변경부로부터 입사되는 산란광을 검출하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
8	8 제 2 항에 있어서,상기 링빔 형성부는,상기 베셀빔 형성부로부터 입사되는 테라헤르츠파 베셀빔의 각도를 작게 변경하여 상기 제 1 렌즈로 입사시키는 제 2 렌즈를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
9	9 제 8 항에 있어서,상기 베셀빔 형성부는,상기 테라헤르츠파 베셀빔의 직경이 상기 테라헤르츠파 생성부에서 생성된 테라헤르츠파의 파장보다 작게 형성되는 꼭지각을 갖는 제 1 엑시콘 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
10	10 제 9 항에 있어서,상기 제 2 렌즈는,상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제 1 엑시콘 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 2 엑시콘 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
11	11 제 10 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 렌즈는,상기 제 1 엑시콘 렌즈과 동일한 크기의 꼭지각을 갖는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
12	12 제 2 항에 있어서,상기 테라헤르츠 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시켜 상기 베셀빔 형성부로 입사시키는 각도 변경부를 더 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
13	13 제 12 항에 있어서,상기 각도 변경부는,상기 테라헤르츠 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시키는 제 1 볼록 렌즈이고,상기 제 1 렌즈는,상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제 1 볼록 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 2 볼록 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
14	14 제 10 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 제 2 엑시콘 렌즈와 동일한 모양을 가지며, 광축에 수직한 축을 기준으로 상기 제 2 엑시콘 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 3 엑시콘 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
15	15 제 8 항에 있어서,상기 제 2 렌즈는,상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과하면서 발산되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 3 볼록 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
16	16 제 15 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,광축에 수직한 축을 기준으로 상기 제 3 볼록 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 4 볼록 렌즈인, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
17	17 테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 형성부; 및상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부를 포함하는, 산란광 검출모듈
18	18 제 17 항에 있어서,상기 링빔 형성부는,링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 제 1 렌즈를 포함하는, 산란광 검출모듈
19	19 제 18 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 제 1 렌즈로부터 출사되는 링빔의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 산란광 검출모듈
20	20 제 18 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 제 1 렌즈로부터 입사되는 링빔의 내부에 배치되고, 상기 검사 대상 물체로부터 투과되는 산란광을 검출하는 투과 산란광 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
21	21 제 18 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광의 경로를 변경하는 경로 변경부를 포함하고,상기 반사 산란광 검출부는,상기 경로 변경부로부터 입사되는 산란광을 검출하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치

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2	JP31536061	JP	일본	FAMILY
3	JP32177030	JP	일본	FAMILY
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7	US10648864	US	미국	FAMILY
8	US20190250037	US	미국	FAMILY
9	WO2018084355	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	CN109891217	CN	중국	DOCDBFAMILY
2	JP2019536061	JP	일본	DOCDBFAMILY

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순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	한국식품연구원	한국식품연구원 주요사업	식품이물 검출용 테라파 고분해능 영상기술 개발

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2016.11.01	수리 (Accepted)	1-1-2016-1067526-86
2	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2017-5155082-90
3	출원인정보변경(경정)신고서	2019.07.08	수리 (Accepted)	4-1-2019-5135028-45
4	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.02	수리 (Accepted)	4-1-2019-5176835-79
5	출원인정보변경(경정)신고서	2020.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2020-5030341-61
6	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.04	수리 (Accepted)	4-1-2020-5124131-17
7	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2020.06.17	수리 (Accepted)	1-1-2020-0621028-05
8	출원인정보변경(경정)신고서	2020.09.08	수리 (Accepted)	4-1-2020-5203003-57

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