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발광 다이오드 및 이의 제조 방법(Light emitting diode and method of fabricating the same)

  • 기술번호 : KST2018005648
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 발광 다이오드 및 이의 제조 방법 에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1 전극; 상기 제 1 전극 상에 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들 또는 나노 로드들을 포함하는 P 형 산화 아연층; 상기 P 형 산화 아연층 상에 형성되어 에피택셜 계면(epitaxial interface)를 갖는 동종 접합을 형성하는 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 N 형 산화 아연층; 및 상기 N 형 산화 아연층 상에 형성되는 제 2 전극을 포함하는 발광 다이오드가 제공될 수 있다.
Int. CL H01L 33/02 (2010.01.01) H01L 33/36 (2010.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01)
CPC H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01) H01L 33/02(2013.01)
출원번호/일자 1020160145385 (2016.11.02)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0048160 (2018.05.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.02)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 명재민 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 백성두 대한민국 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김권석 대한민국 서울특별시 서초구 논현로**, B동 *층(양재동, 삼호물산빌딩)(아이피맥스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-1072981-54
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0813152-15
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0169189-87
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0072059-28
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0184223-69
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0184239-99
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0443915-45
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0650345-84
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0650310-97
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0852439-06
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0107727-64
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0107736-75
14 등록결정서
Decision to grant
2019.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0150850-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제 1 전극;상기 제 1 전극 상에 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들을 포함하는 P 형 산화 아연층;상기 P 형 산화 아연층 상에 형성되어 에피택셜 계면(epitaxial interface)를 갖는 동종 접합을 형성하는 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 N 형 산화 아연층; 및상기 N 형 산화 아연층 상에 형성되는 제 2 전극을 포함하며상기 나노 디스크들은 0
2 2
제 1 항에 있어서,상기 나노 디스크들은 200 nm 내지 800 nm의 두께 및 300 nm 내지 1 ㎛의 지름을 갖는 발광 다이오드
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 나노 디스크들은 [0002] 방향을 따라 성장된 결정 구조를 갖는 발광 다이오드
4 4
제 1 전극;상기 제 1 전극 상에 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 P 형 산화 아연층;상기 P 형 산화 아연층 상에 형성되어 에피택셜 계면(epitaxial interface)를 갖는 동종 접합을 형성하는 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 N 형 산화 아연층; 및상기 N 형 산화 아연층 상에 형성되는 제 2 전극을 포함하며,상기 나노 로드들은 0
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 나노 디스크들은 자외선(UV) 영역 중 350 nm 내지 420 nm에서 NBE(near-band-edge emission) 특성을 가지며, 가시광선 영역 중 450 nm 내지 750 nm에서 상대적으로 상기 NBE보다 약한 DLE(deep-level emission) 특성을 갖는 광 발광(photoluminescence) 스펙트럼을 갖는 발광 다이오드
6 6
제 4 항에 있어서,상기 나노 로드들은 1 ㎛ 내지 4 ㎛의 길이 및 100 nm 내지 500 nm의 두께를 갖는 발광 다이오드
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 나노 로드들은 [0002] 방향을 따라 성장된 결정 구조를 갖는 발광 다이오드
8 8
삭제
9 9
제 4 항에 있어서, 상기 나노 로드들은 자외선(UV) 영역 중 350 nm 내지 420 nm에서 NBE(near-band-edge emission) 특성을 가지며, 가시광선 영역 중 450 nm 내지 750 nm에서 상대적으로 상기 NBE보다 강한 DLE(deep-level emission) 특성을 갖는 광 발광(photoluminescence) 스펙트럼을 갖는 발광 다이오드
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 P 형 산화 아연층의 상기 불순물은 안티몬(Sb), 비소(As), 인(P), 비스무트(Bi) 및 이들의 조합 중 어느 하나를 포함하는 발광 다이오드
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 불순물의 원자 농도는 아연의 원자 대비 0
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 P 형 산화 아연층이 상기 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들을 포함하는 경우, 상기 나노 디스크들은 상기 산화 아연의 나노 로드들의 성장을 위한 템플릿으로 이용되는 발광 다이오드
13 13
기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들을 포함하는 P 형 산화 아연층을 형성하는 단계; 상기 P 형 산화 아연층 상에 에피택셜 계면(epitaxial interface)를 갖는 동종 접합을 형성하도록, 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 N 형 산화 아연층을 형성하는 단계; 및상기 N 형 산화 아연층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 나노 디스크들은 0
14 14
삭제
15 15
기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상에 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들을 포함하는 P 형 산화 아연층을 형성하는 단계; 상기 P 형 산화 아연층 상에 에피택셜 계면(epitaxial interface)를 갖는 동종 접합을 형성하도록, 산화 아연의 나노 로드들을 포함하는 N 형 산화 아연층을 형성하는 단계; 및상기 N 형 산화 아연층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,상기 불순물이 도핑된 산화 아연의 나노 디스크들은아연 전구체와 P 형 도펀트의 전구체를 준비하는 단계;상기 아연 전구체와 상기 P 형 도펀트의 전구체를 혼합하여 제 1 혼합물을 제공하는 단계; 및상기 제 1 혼합물을 고압 반응기에서 반응시키는 단계에 의해 합성되는 발광 다이오드의 제조 방법
16 16
제 15 항에 있어서,상기 제 1 혼합물에 구조 유도제를 추가하여, 제 2 혼합물을 더 제공하는 단계를 포함하는 발광 다이오드의 제조 방법
17 17
제 15 항에 있어서,상기 고압 반응기에 의해 반응 물질을 냉각시키는 단계; 원심 분리기를 이용하여, 상기 냉각된 반응 물질로부터 상기 나노 디스크들을 포함하는 백강홍(white precipitate)을 수집하는 단계; 및상기 수집된 백강홍을 세척하여 상기 나노 디스크들을 수득하는 단계를 포함하는 단계를 더 포함하는 발광 다이오드의 제조 방법
18 18
제 13 항에 있어서,상기 P 형 산화 아연층을 형성하는 단계는,상기 산화 아연 나노 디스크들의 분산 용액을 제공하는 단계; 상기 분산 용액을 피처리 표면 상에 적하시켜, 상기 산화 아연 나노 디스크들이 전개된 이차원 단층을 상기 피처리 표면 상에 형성하는 단계; 상기 피처리 표면 상에 형성된 상기 산화 아연 나노 디스크들의 상기 이차원 단층을 상기 제 1 전극 상으로 전달하는 단계를 포함하는 발광 다이오드의 제조 방법
19 19
제 13 항에 있어서, 상기 N 형 산화 아연층을 형성하는 단계는,상기 나노 디스크들 사이의 갭들을 절연체로 채우는 단계; 및 상기 나노 디스크들의 상부 표면에 상기 나노 로드들을 수열 합성법(hydrothermal)을 이용하여 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 제 2 전극을 형성하는 단계는,상기 나노 로드들 사이의 갭들을 절연체로 채우는 단계; 상기 나노 로드들의 상부 표면에 상기 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 발광 다이오드의 제조 방법
20 20
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 기술료지원사업 [RCMS](주)제이엠씨/용액공정 기반의 산화물 나노 물질 기반 플렉시블(Flexible) 무기 발광 소자 공정 기술 개발