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레이저 전사장치 및 전사방법(Laser induced forward transfer and transfering method using the same)

  • 기술번호 : KST2018005757
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레어저 전사장치에 관한 것으로서, 메인 스테이지에 장착되어 3축방향 위치조정이 가능하며 전사층이 저면에 형성된 전사체를 홀딩하는 홀더가 마련된 전사 헤드와, 메인 스테이지에 장착되되 3축 방향으로 위치 조정이 가능하게 설치되며 집광렌즈로 광을 출사할 수 있게 설치된 광조사유닛과, 광조사 유닛에 장착되어 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 전사체의 전사층을 전사대상물로 전사시키도록 제1레이저 광을 출사하게 설치된 제1레이저와, 광조사 유닛에 장착되어 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 전사대상물에 전사된 전사패턴을 설정된 형상으로 트리밍할 수 있도록 제2레이저 광을 출사하게 설치된 제2레이저와, 광조사 유닛에 장착되어 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 제2레이저에 의해 트리밍 처리된 전사패턴을 소결할 수 있도록 제3레이저 광을 출사하게 설치된 제3레이저와, 광조사 유닛에 장착되어 전사 대상물에 전사된 전사패턴을 건조시키는 건조가스를 분사하는 건조 가스 분사부 및 제1레이저 내지 제3레이저의 구동을 제어하고, 건조가스 분사부의 구동을 제어하는 제어유니트를 구비한다. 이러한 레이저 전사장치 및 전사방법에 의하면, 전사대상물에 전사된 전사패턴을 원하는 형상으로 트리밍처리할 수 있으면서 소결을 통해 전기적 특성도 향상시킬 수 있으며, 전사체를 전사대상물에 접촉상태로 전사작업을 수행할 수 있어 전사작업을 용이하게 수행할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2053(2013.01) G03F 7/2053(2013.01) G03F 7/2053(2013.01) G03F 7/2053(2013.01)
출원번호/일자 1020160145934 (2016.11.03)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0049697 (2018.05.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.03)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종복 대한민국 광주광역시 북구
2 이동길 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2016-1076511-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0026263-32
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0573378-52
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.10.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1017345-47
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1017344-02
7 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2018.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0026073-60
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0249511-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0572478-39
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0572477-94
11 등록결정서
Decision to grant
2018.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0495745-32
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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메인 스테이지에 장착되어 3축방향 위치조정이 가능하며 전사층이 저면에 형성된 전사체를 홀딩하는 홀더가 마련된 전사 헤드와;상기 메인 스테이지에 장착되되 3축 방향으로 위치 조정이 가능하게 설치되며 집광렌즈로 광을 출사할 수 있게 설치된 광조사유닛과;상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 전사체의 전사층을 전사대상물로 전사시키도록 제1레이저 광을 출사하게 설치된 제1레이저와;상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 전사대상물에 전사된 전사패턴을 설정된 형상으로 트리밍할 수 있도록 제2레이저 광을 출사하게 설치된 제2레이저와;상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 제2레이저에 의해 트리밍 처리된 전사패턴을 소결할 수 있도록 제3레이저 광을 출사하게 설치된 제3레이저와;상기 광조사 유닛에 장착되어 전사 대상물에 전사된 전사패턴을 건조시키는 건조가스를 분사하는 건조 가스 분사부;및상기 제1레이저 내지 제3레이저의 구동을 제어하고, 상기 건조가스 분사부의 구동을 제어하는 제어유니트;를 구비하고,상기 전사층은 1㎛ 내지 100㎛의 두께를 갖게 형성되어 있고, 상기 제어유니트는 전사모드시 상기 제1레이저를 100펨토초 내지 500피코초 동안 펄스 구동처리하고, 트리밍모드시 상기 제2레이저를 1나노초 내지 100나노초로 펄스 구동처리하고, 소결모드시 상기 제3레이저를 1밀리초 내지 100밀리초 동안 가동하는 것을 특징으로 하는 레이저 전사장치
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메인 스테이지에 장착되어 3축방향 위치조정이 가능하며 전사층이 저면에 형성된 전사체를 홀딩하는 홀더가 마련된 전사 헤드와, 상기 메인 스테이지에 장착되되 3축 방향으로 위치 조정이 가능하게 설치되며 집광렌즈로 광을 출사할 수 있게 설치된 광조사유닛과, 상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 전사체의 전사층을 전사대상물로 전사시키도록 제1레이저 광을 출사하게 설치된 제1레이저와, 상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 전사대상물에 전사된 전사패턴을 설정된 형상으로 트리밍할 수 있도록 제2레이저 광을 출사하게 설치된 제2레이저와, 상기 광조사 유닛에 장착되어 상기 집광렌즈로 이어지는 광조사경로로 상기 제2레이저에 의해 트리밍 처리된 전사패턴을 소결할 수 있도록 제3레이저 광을 출사하게 설치된 제3레이저와, 상기 광조사 유닛에 장착되어 전사 대상물에 전사된 전사패턴을 건조시키는 건조가스를 분사하는 건조 가스 분사부를 구비하는 레이저 전사장치의 전사방법에 있어서,가
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국광기술원 개인연구지원 크리스탈 3D 프린팅을 위한 선택적 레이저 증착 기술 개발