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공기 베어링 장치 및 그의 온도 보상 방법(Air bearing device and temperature compensation method thereof)

  • 기술번호 : KST2018005952
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 다양한 실시예는 공기 베어링 장치 및 그의 온도 보상 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 공기 베어링으로부터 공급된 저온 압축 공기를 신속하게 외부로 배기하고 또한 온도가 제어된 공기를 공급함으로써, 공기 베어링으로부터 공급되는 저온 압축 공기에 의한 스테이지의 열변형을 최소화할 수 있는 공기 베어링 장치 및 그의 온도 보상 방법을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명은 상부에서 하부로 압축 공기를 공급하는 압축 공기 공급 통로가 형성된 센터 바디; 상기 센터 바디의 외측에 하부에서 상부로 공기를 배기하는 공기 배기 통로가 형성된 미들 바디; 및, 상기 미들 바디의 외측에 상부에서 하부로 온도가 제어된 공기를 공급하는 온도 제어된 공기 공급 통로가 형성된 커버 바디를 포함하는 공기 베어링 장치 및 그의 온도 보상 방법을 개시한다.
Int. CL F16C 32/06 (2006.01.01)
CPC F16C 32/0614(2013.01) F16C 32/0614(2013.01) F16C 32/0614(2013.01)
출원번호/일자 1020160153171 (2016.11.17)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0055380 (2018.05.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최현석 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 나소정 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인성암 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2016-1121980-47
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2016.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0167184-46
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0013490-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0080639-89
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.02.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0197758-77
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0197757-21
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0371534-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0655360-20
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0655359-84
12 등록결정서
Decision to grant
2018.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0598641-20
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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상부에서 하부로 압축 공기를 공급하는 압축 공기 공급 통로가 형성된 센터 바디;상기 센터 바디의 외측에 하부에서 상부로 공기를 배기하는 공기 배기 통로가 형성된 미들 바디; 및,상기 미들 바디의 외측에 상부에서 하부로 온도가 제어된 공기를 공급하는 온도 제어된 공기 공급 통로가 형성된 커버 바디를 포함하는 공기 베어링 장치에 있어서,상기 커버 바디의 온도 제어된 공기 공급 통로의 상단에는 온도 제어된 공기를 공급하는 송풍기가 더 연결되며, 상기 송풍기와 상기 온도 제어된 공기 공급 통로의 상단에는 공기 온도 조절부가 더 연결되고,상기 공기 베어링 장치의 주변 온도를 센싱하는 주변 온도 센서;상기 공기 베어링 장치의 온도를 센싱하는 베어링 온도 센서;상기 공기 베어링 장치가 장착된 스테이지의 온도를 센싱하는 스테이지 온도 센서를 더 포함하고,상기 스테이지 온도는 미리 설정된 설정 온도로 셋팅되어 있고, 상기 공기 온도 조절부는 상기 주변 온도 및 베어링 온도에 의해 상기 스테이지의 설정 온도가 변경되지 않도록 온도 제어된 공기를 공급함을 특징으로 하는 공기 베어링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 센터 바디의 압축 공기 공급 통로의 상단에는 20℃ 내지 25℃의 압축 공기를 공급하는 압축 공기 공급부가 더 연결된 것을 특징으로 하는 공기 베어링 장치
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제 1 항에 있어서,상기 미들 바디의 공기 배기 통로의 상단에는 공기를 배기하는 진공 펌프가 더 연결된 것을 특징으로 하는 공기 베어링 장치
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삭제
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 공기 온도 조절부는상기 공기 온도를 상승시키는 히터; 및상기 공기 온도를 하강시키는 쿨러를 더 포함하고,상기 주변 온도 및 베어링 온도의 평균 온도가 상기 설정 온도보다 낮으면 상기 히터를 동작시켜 상기 평균 온도보다 높은 온도를 갖는 온도 제어된 공기를 공급하고,상기 주변 온도 및 베어링 온도의 평균 온도가 상기 설정 온도보다 높으면 상기 쿨러를 동작시켜 상기 평균 온도보다 낮은 온도를 갖는 온도 제어된 공기를 공급함을 특징으로 하는 공기 베어링 장치
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공기 베어링 장치의 주변 온도를 센싱하는 주변 온도 센싱 단계;상기 공기 베어링 장치가 장착된 스테이지의 온도를 센싱하는 스테이지 온도 센싱 단계;상기 공기 베어링 장치의 온도를 센싱하는 베어링 온도 센싱 단계; 및상기 스테이지 온도는 미리 설정된 설정 온도로 셋팅되어 있고, 상기 주변 온도 및 베어링 온도에 의해 상기 스테이지의 설정 온도가 변경되지 않도록 온도 제어된 공기를 공급하는 온도 제어된 공기 공급 단계를 포함함을 특징으로 하는 공기 베어링 장치의 온도 보상 방법
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제 8 항에 있어서,상기 온도 제어된 공기 공급 단계는상기 주변 온도 및 베어링 온도의 평균 온도가 상기 설정 온도보다 낮으면 상기 평균 온도보다 높은 온도를 갖는 온도 제어된 공기를 공급하고,상기 주변 온도 및 베어링 온도의 평균 온도가 상기 설정 온도보다 높으면 상기 평균 온도보다 낮은 온도를 갖는 온도 제어된 공기를 공급함을 특징으로 하는 공기 베어링 장치의 온도 보상 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래부 한국생산기술연구원 타겟형 히든챔피언 사업 [타겟형 히든챔피언]OLED공정용 초정밀 검사장비를 위한 오차 저감기술개발(1/2)