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(a) 솔-젤법을 이용하여 뵈마이트 솔(boehmite sol)을 합성하는 단계;(b) 금속 염을 용매에 용해시켜 금속 염 용액을 제조하고, 인산암모늄 존재 하에 상기 뵈마이트 솔과 상기 금속 염 용액을 혼합하여 전구체 용액을 제조하는 단계;(c) 상기 전구체 용액에 초음파를 인가하여 액적을 생성하고, 상기 액적을 운반 가스를 이용하여 반응기에 분무하는 단계; 및(d) 상기 액적을 열분해하여 입자를 수득하는 단계;를 포함하는, 무기 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 단계가,알루미늄 염 및 알루미늄 알콕사이드 중 하나 이상의 알루미늄 전구체를 물 존재 하에 가수분해 및 중축합하여 뵈마이트 입자를 형성하는 단계; 및상기 뵈마이트 입자에 산을 첨가하여 상기 뵈마이트 입자를 해교하는(peptizing) 단계; 를 포함하는, 무기 입자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 알루미늄 염이 알루미늄 질산염, 염화알루미늄, 황산알루미늄, 인화알루미늄 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 알루미늄알콕사이드가 알루미늄에톡사이드, 알루미늄이소프로폭사이드, 알루미늄세크부톡사이드 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 물의 양이 상기 알루미늄 전구체 1몰 당 50 내지 200몰인, 무기 입자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 산이 질산(HNO3), 염산(HCl), 황산(H2SO4), 초산(CH3COOH), 인산(H3PO4) 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 산의 양이 상기 알루미늄 전구체 1몰 당 0
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계에서 상기 금속 염이 니켈(Ni), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 철(Fe), 망간(Mn), 로듐(Rh), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au) 및 은(Ag)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 염인, 무기 입자의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 염이 질산염, 탄산염, 염화염, 인산염, 붕산염, 산화염, 술폰산염, 황산염, 스테아린산염, 미리스틴산염, 초산염 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서 상기 입자 중 금속 성분의 함량이 1 내지 30중량%인, 무기 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 운반 가스가 공기, 질소, 산소, 헬륨, 아르곤, 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서 상기 열분해가 500 내지 1,000℃에서 수행되는, 무기 입자의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계 이후에, (e) 상기 입자를 하소하는 단계를 더 포함하는, 무기 입자의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 하소가 500 내지 1,000℃에서 수행되는, 무기 입자의 제조방법
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삭제
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제1항에 있어서,상기 인산암모늄이 인산일암모늄, 인산이암모늄, 인산삼암모늄 및 이들 중 2 이상의 혼합물로 이루어진 군에서 선택된 하나인, 무기 입자의 제조방법
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