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고속 롤투롤 공정을 이용한 유연소자의 제조 방법(METHOD FOR FABRICATING THE FLEXIBLE DEVICE USING ROLL TO HIGH SPEED ROLL TO ROLL PROCESSING)

  • 기술번호 : KST2018006050
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유연 소자 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 유연 소자의 제조 방법은 기판 상에 롤투롤 공정을 통해 특정 패턴을 갖는 마스크를 형성하는 단계; 상기 특정 패턴에 투사하여 전자 소자를 형성하는 단계; 및 상기 마스크에 광을 조사하여 광분해시키는 단계;를 포함하고, 상기 마스크는 상기 광분해에 의해 상기 기판으로부터 제거하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 21/033 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020160148658 (2016.11.09)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0051829 (2018.05.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.09)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유재웅 대한민국 서울특별시 서초구
2 송준호 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.11.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-1094549-58
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0874340-55
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0074384-09
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0074353-94
5 등록결정서
Decision to grant		 2018.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0353208-40
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 롤투롤 공정을 통해 특정 패턴을 갖는 마스크를 형성하는 단계;상기 특정 패턴에 투사하여 전자 소자를 형성하는 단계;상기 마스크에 간헐적(pulse) 백색광을 조사하여 광분해시키는 단계; 및상기 광분해된 마스크에 공기를 분사하는 단계를 포함하고,상기 마스크는 상기 광분해에 의해 상기 기판으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 광의 세기는 100J 내지 400J 인 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 광의 조사 시간은 1ms 내지 10ms 인 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 광은 펄스(pulse)로 조사되고,상기 광의 조사 횟수는 5번 내지 30번인 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 마스크는 포토레지스트 또는 상기 포토레지스트와 폴리머의 혼합물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 폴리머는 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol, PVA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethyl methacrylate, PMMA), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리스티렌(polystyrene, PS), 폴리비닐피로리돈(polyvinylpyrrolidone, PVP) 및 폴리아크릴로나이트릴(polyacrylonitrile, PAN)으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나로 또는 두 개 이상의 고분자 블렌드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 마스크는 광촉매를 더 포함할 수 있고,상기 광촉매는 이산화티타늄(TiO2), 산화아연(ZnO), 이산화주석(SnO2), 티탄산스트론튬(SrTiO3), 산화텅스텐(WO3), 산화붕소(B2O3) 및 산화철(Fe2O3)으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
9 9
삭제
10 10
제1항에 있어서,상기 마스크는 적어도 하나 이상의 층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 전자 소자는 유기 발광 소자, 유기태양전지 또는 봉지재인 것을 특징으로 하는 유연 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 제주대학교 산업핵심기술개발사업 스마트 박막 소자 제조를 위한 롤투롤 연속공정 기반 저온·상압 패턴 증착 장비 개발