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자기베어링유닛에 의해 비접촉식으로 지지되는 회전체에 가해지는 열에 의한 오차를 고려하여 상기 회전체를 정위치로 조정하기 위한 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치이고,제1반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제1측정변위를 감지하되, 상기 회전체의 일측에 구비되고 상기 제1반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제1-1측정변위를 감지하는 제1-1방향 갭센서와, 상기 제1-1방향 갭센서와 마주보도록 상기 회전체의 타측에 구비되고 상기 제1반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제1-2측정변위를 감지하는 제1-2방향 갭센서를 포함하는 제1반경방향 갭센서유닛;상기 제1반경방향에 수직인 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제2측정변위를 감지하는 제2반경방향 갭센서유닛; 및상기 자기베어링유닛에 연결되고, 상기 제1-1측정변위와 상기 제1-2측정변위에 대한 제1차이값의 평균값 또는 상기 제1-1측정변위와 상기 제1-2측정변위에 대한 제1합산값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1이동변위를 산출하는 제어유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제1항에 있어서,상기 제2반경방향 갭센서유닛은,상기 회전체의 일측에 구비되고 상기 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제2-1측정변위를 감지하는 제2-1방향 갭센서와, 상기 제2-1방향 갭센서와 마주보도록 상기 회전체의 타측에 구비되고 상기 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제2-2측정변위를 감지하는 제2-2방향 갭센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제2항에 있어서,상기 제어유닛은,상기 제1차이값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1이동변위를 산출하고,상기 제2-1측정변위와 상기 제2-2측정변위에 대한 제2차이값의 평균값을 이용하여 상기 제2반경방향에 대한 제2이동변위를 산출하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제1항에 있어서,상기 제어유닛은,상기 제1합산값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1오차변위를 산출하고,상기 제1오차변위를 바탕으로 상기 제1반경방향에 대한 제1이동변위를 산출하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제4항에 있어서,상기 제2반경방향 갭센서유닛은,상기 회전체의 일측에 구비되고 상기 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 제2-1측정변위를 감지하는 제2-1방향 갭센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제5항에 있어서,상기 제어유닛은,상기 제2반경방향에 대한 제2오차변위는 상기 제1오차변위와 동일한 값으로 산정하고, 상기 제2오차변위를 바탕으로 상기 제2반경방향에 대한 제2이동변위를 추가로 산출하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제4항에 있어서,상기 제어유닛은,상기 제1합산값의 평균값에 대응하는 신호의 주파수 중에서 기설정된 차단주파수와 같거나 낮은 저주파수는 통과시키고, 기설정된 차단주파수보다 큰 고주파수는 차단 또는 감쇄시키는 저역통과필터부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상장치
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제1항에 기재된 열오차 보상장치를 이용한 열오차 보상방법이고,a) 상기 제1반경방향을 기준으로 상기 자기베어링유닛이 상기 회전체를 움직이기 위한 제1기준변위를 수신하고, 상기 제2반경방향을 기준으로 상기 자기베어링유닛이 상기 회전체를 움직이기 위한 제2기준변위를 수신하는 단계;b) 상기 제1기준변위를 이용하여 상기 자기베어링유닛에 인가해야 하는 제1전류값을 산출하고, 상기 제2기준변위를 이용하여 상기 자기베어링유닛에 인가해야 하는 제2전류값을 산출하는 단계;c) 상기 제1전류값과 상기 제2전류값을 해당되는 상기 자기베어링유닛에 인가하는 단계;d) 상기 제1반경방향을 기준으로 상기 회전체의 양측에서 각각 상기 제1-1측정변위와 상기 제1-2측정변위를 감지하는 단계; 및e) 상기 제1차이값의 평균값 또는 상기 제1합산값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1이동변위를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상방법
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제8항에 있어서,상기 d) 단계는,상기 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 양측에서 각각 상기 회전체의 제2-1측정변위와 상기 회전체의 제2-2측정변위를 추가로 감지하고,상기 e) 단계는,상기 제1차이값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1이동변위를 산출하고, 상기 제2-1측정변위와 상기 제2-2측정변위에 대한 제2차이값의 평균값을 이용하여 상기 제2반경방향에 대한 제2이동변위를 산출하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상방법
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제8항에 있어서,상기 d) 단계는,상기 제2반경방향을 기준으로 상기 회전체의 일측에서 상기 회전체의 제2-1측정변위를 추가로 감지하고,상기 e) 단계는,상기 제1합산값의 평균값을 이용하여 상기 제1반경방향에 대한 제1오차변위를 산출하고, 상기 제1오차변위를 바탕으로 제1이동변위를 산출하며,상기 제2반경방향에 대한 제2오차변위는 상기 제1오차변위와 동일하다고 가정하고, 상기 제2오차변위를 바탕으로 제2이동변위를 산출하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상방법
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제10항에 있어서,상기 제1합산값의 평균값에 대응하는 신호의 주파수 중에서 기설정된 차단주파수와 같거나 낮은 저주파수는 통과시키고, 기설정된 차단주파수보다 큰 고주파수는 차단 또는 감쇄시키는 저역통과필터단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반경방향 자기베어링유닛의 열오차 보상방법
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