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경도가변 캐리어 필름(Carrier film with variable hardness)

  • 기술번호 : KST2018006105
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다층의 점착층으로 구성된 캐리어 필름의 경도를 조절함으로써 캐리어 필름에 소자가 압입되는 압입깊이를 제어하여 소자를 기판으로 이송시키는 경도가변 캐리어 필름에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은 베이스 필름, 제 1 점착층, 제 2 점착층을 포함한다.제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입된다. 제 2 점착층은 상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어된다. 상기 소자와 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고, 상기 제 2 점착층이 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 경도보다 약한 제 2 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입된다.
Int. CL C09J 7/02 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) C09J 9/00 (2006.01.01)
CPC C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01) C09J 7/29(2013.01)
출원번호/일자 1020160151058 (2016.11.14)
출원인 한국기계연구원, 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0054944 (2018.05.25) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.14)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광섭 대한민국 대전광역시 유성구
2 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
4 김경식 대한민국 대전광역시 유성구
5 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
6 이학주 대한민국 대전광역시 서구
7 최병익 대한민국 대전 서구
8 이승모 대한민국 충청남도 논

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-1108919-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0154928-71
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0789266-02
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0016234-10
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0016235-66
8 등록결정서
Decision to grant
2018.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0297689-84
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 필름;상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입되는 제 1 점착층;상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어되는 제 2 점착층;을 포함하고,상기 소자와 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고,상기 제 2 점착층이 상기 제 1 점착층의 경도보다 강한 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 점착층의 경도와 동일하거나 상기 제 1 점착층의 경도보다 약한 제 2 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 2 점착층은 가해지는 온도에 따라 경도가 변화하는 재질이며,상기 제 2 점착층에 제 1 온도를 가할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 1 경도를 가지며, 상기 제 2 점착층에 상기 제 1 온도보다 상대적으로 온도가 높은 제 2 온도를 가할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 2 경도를 가지는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제 2 점착층을 가열하는 외부 히터의 온도에 따라, 상기 제 2 점착층의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
4 4
제 2 항에 있어서,상기 제 2 점착층을 가열 및 가압하는 히터롤러의 온도에 따라, 상기 제 2 점착층의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
5 5
제 2 항에 있어서,상기 베이스 필름은 광 투과성 재질로 형성되고,상기 베이스 필름의 타면에 배치되며, 제 1 개구부가 형성된 제 1 마스크층을 더 포함하고,상기 제 1 마스크층으로 방사되는 레이저의 세기에 따라, 상기 제 1 개구부에 의해 개방된 상기 제 2 점착층 영역의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
6 6
제 2 항에 있어서,상기 베이스 필름과 상기 제 2 점착층 사이의 일정 영역에 형성되어 상기 제 2 점착층을 가열하는 내장형 히터를 더 포함하고,상기 내장형 히터의 온도에 따라, 상기 제 2 점착층 영역의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
7 7
제 1 항에 있어서,상기 제 2 점착층은 가해지는 빛의 파장에 따라 경도가 변화하는 재질이며,상기 제 2 점착층에 제 1 파장으로 빛을 조사할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 1 경도를 가지며, 상기 제 2 점착층에 상기 제 1 파장보다 파장이 긴 제 2 파장으로 빛을 조사할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 2 경도를 가지는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
8 8
제 7 항에 있어서,상기 베이스 필름은 광 투과성 재질로 형성되고,상기 베이스 필름의 타면에 배치되며, 제 2 개구부가 형성된 제 2 마스크층을 더 포함하고,상기 제 2 마스크층으로 조사되는 빛의 파장에 따라, 상기 제 2 개구부에 의해 개방된 상기 제 2 점착층 영역의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
9 9
베이스 필름;상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입되는 제 1 점착층;상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어되는 제 2 점착층; 및상기 베이스 필름과 상기 제 2 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어되는 제 3 점착층을 포함하고,상기 소자와 상기 제 1 점착층, 상기 제 2 점착층 또는 상기 제 3 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층, 상기 제 2 점착층 또는 상기 제 3 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고,상기 제 2 점착층이 상기 제 1 점착층의 경도보다 강한 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 점착층의 경도와 동일하거나 상기 제 1 점착층의 경도보다 약한 제 2 경도를 가지고 상기 제 3 점착층이 상기 제 2 경도보다 강한 제 3 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입되며, 상기 제 2 점착층이 상기 제 2 경도를 가지고 상기 제 3 점착층이 상기 제 2 경도와 동일하거나 상기 제 2 경도보다 약한 제 4 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층 및 상기 제 2 점착층을 관통하여 상기 제 3 점착층까지 압입되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
10 10
제 9 항에 있어서,상기 제 2 점착층 및 상기 제 3 점착층은 가해지는 온도에 따라 경도가 변화하는 재질이며,상기 제 2 점착층에 제 1 온도를 가할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 1 경도를 가지며, 상기 제 2 점착층에 상기 제 1 온도보다 높은 제 2 온도를 가할 경우 상기 제 2 점착층은 상기 제 2 경도를 가지고,상기 제 3 점착층에 상기 제 2 온도를 가할 경우 상기 제 3 점착층은 상기 제 3 경도를 가지며, 상기 제 3 점착층에 상기 제 2 온도보다 높은 제 3 온도를 가할 경우 상기 제 3 점착층은 상기 제 4 경도를 가지는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
11 11
제 9 항에 있어서,상기 제 2 점착층 및 상기 제 3 점착층 중 어느 하나는 가해지는 온도에 의해 경도가 변화하는 재질로 구성되고, 상기 제 2 점착층 및 상기 제 3 점착층 중 다른 하나는 조사되는 빛의 파장에 의해 경도가 변화하는 재질로 구성되며,상기 제 2 점착층 또는 상기 제 3 점착층에 가해지는 온도, 조사되는 빛의 파장에 의하여, 상기 제 2 점착층의 경도가 상기 제 1 경도 또는 상기 제 2 경도로 가변되고, 상기 제 3 점착층의 경도가 상기 제 3 경도 또는 상기 제 4 경도로 가변되는 것을 특징으로 하는 경도가변 캐리어 필름
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (1/3)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 응용 고성능 유연소자 기술기반 구축사업 (4/5)